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磁光克爾顯微鏡

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  • 品牌其他品牌
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自2017年創(chuàng)立以來,托托科技始終深耕于精密光學(xué)儀器的研發(fā)和制造。公司憑借在微納光學(xué)加工及檢測領(lǐng)域的深厚積淀,打造了覆蓋無掩模光刻、高精度3D光刻、磁學(xué)檢測、光電檢測及3D顯微鏡五大核心產(chǎn)品線的技術(shù)矩陣,構(gòu)建了設(shè)計、研發(fā)、制造、銷售及咨詢服務(wù)的全鏈條生態(tài)體系,以綜合實力持續(xù)為行業(yè)提供高品質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。

依托前沿技術(shù)與細(xì)致化設(shè)計,托托科技通過持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新,積極推動光電子技術(shù)從實驗室走向產(chǎn)業(yè)化落地,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物醫(yī)療、清潔能源、消費電子、精密制造等關(guān)鍵領(lǐng)域。托托科技致力于為各行各業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供高精度、高效率的光學(xué)解決方案,助力產(chǎn)業(yè)升級與突破。

Founded in 2017, TuoTuo Technology has always been committed to the development of high-end precision optical instruments. With a solid foundation in Micro and Nano  optical processing and detection, the company has developed an advanced technology matrix covering five core product lines: maskless lithography, high-precision 3D lithography, magnetic detection, photoelectric detection, and 3D microscopes. It has also established a full-chain ecosystem for design, R & D, manufacturing, sales, and consulting services, continuously providing the industry with high-quality products and services through its outstanding comprehensive strength.


Relying on cutting-edge technology and meticulous design, TuoTuo Technology actively promotes the industrialization of photo-electronic technology through continuous innovation. Its products are widely used in key areas such as semiconductor, biomedicine, clean energy, consumer electronics, and precision manufacturing. TuoTuo Technology is dedicated to providing high-precision and high -efficiency optical solutions for the high-quality development of various industries, helping to drive industrial upgrades and breakthroughs.


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托托科技的磁學(xué) 自旋電子學(xué) 磁光克爾顯微鏡是一款面向磁學(xué)和自旋電子學(xué)領(lǐng)域的綜合測試設(shè)備,核心用于磁疇的直接觀測、記錄與動態(tài)分析,可實現(xiàn)磁光克爾效應(yīng)、磁滯回線、磁疇翻轉(zhuǎn)/擴展等多類測試,還能搭配探針臺完成光、磁、電、溫的同步表征。
磁光克爾顯微鏡 產(chǎn)品詳情

揭示磁疇動態(tài)奧秘:磁光克爾顯微鏡,賦能磁學(xué)和自旋電子學(xué)前沿研究

磁光克爾效應(yīng)(MOKE)作為磁性材料表征的重要方法,自1877年約翰·克爾在鐵表面反射光中觀察到其現(xiàn)象以來,在現(xiàn)代磁學(xué)與自旋電子學(xué)領(lǐng)域持續(xù)發(fā)揮著不可替代的作用。其物理本質(zhì)在1950年隨著固體能帶理論得以闡明,進而推動研究從單點測量擴展至磁疇結(jié)構(gòu)的可視化觀測。

1980年,數(shù)碼相機與計算機技術(shù)的發(fā)展使磁光檢測設(shè)備進入數(shù)字化時代,顯著提升了設(shè)備靈敏度。2000年后,以 Evico Magnetics 為代表的公司實現(xiàn)了設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)化與商業(yè)化,加上光源技術(shù)的持續(xù)革新,進一步拓展了其在科研與工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用深度。

磁光克爾顯微鏡

 

2024年,托托科技基于十年的自主研發(fā),成功推出光學(xué)系統(tǒng)數(shù)字化(Digital Oblique®)的磁光 克爾顯微鏡,實現(xiàn)了磁光信號測量能力的顯著跨越,更推動了磁疇觀測從定性走向精確定量表征的新階段,持續(xù)為前沿磁性與自旋研究賦能。

挑戰(zhàn)一:在測量面內(nèi)磁化薄膜時,信號極其微弱,傳統(tǒng)設(shè)備需手動調(diào)節(jié)偏振組件操作復(fù)雜,且難以捕捉有效數(shù)據(jù)。

我們的方案:托托科技磁光克爾 顯微鏡的Digital Oblique®光學(xué)系統(tǒng)數(shù)字化技術(shù),通過數(shù)字傾角控制技術(shù),可實現(xiàn)程控的分區(qū)照明,傾斜角度的控制精度更可達到0.03°。客戶無需手動調(diào)節(jié),系統(tǒng)將自動完成光路優(yōu)化與對準(zhǔn),測量結(jié)果的重復(fù)性確保您能輕松、可靠地探測到低至2nm的面內(nèi)Pt/Co/Ta薄膜信號。

磁光克爾顯微鏡 

磁光克爾效應(yīng)示意圖


挑戰(zhàn)二:傳統(tǒng)磁性表征方法“加磁不加電,加電不測磁”,導(dǎo)致研究脫離器件真實工作狀態(tài),無法觀測到最關(guān)鍵的磁動力學(xué)過程。

我們的方案:本設(shè)備提供直流探針、高頻探針,在精確施加直流、脈沖、微波乃至光驅(qū)動等多激勵源信號的同時,同步觀測磁疇動態(tài),一站式實現(xiàn)電、磁、光信號的同步采集與關(guān)聯(lián)分析。

磁光克爾顯微鏡 

反?;魻枺ㄉ希┡c磁滯回線(下)光電同步測試、相互驗證

挑戰(zhàn)三:在觀測亞微米或周期性納米結(jié)構(gòu)時,傳統(tǒng)設(shè)備的空間分辨率不足,導(dǎo)致觀測到的磁疇圖像模糊、輪廓不清,因此錯失判定磁化分布、疇壁類型與動態(tài)行為的關(guān)鍵細(xì)節(jié),使研究停留在推測層面。

我們的方案:本設(shè)備的核心優(yōu)勢之一,是具備優(yōu)于0.5μm的顯微磁疇空間分辨率,您將能清晰探測、精準(zhǔn)定位定量分析以往模糊的微觀磁結(jié)構(gòu)。即使對于幾十納米寬的疇壁,系統(tǒng)也能將其勾勒為銳利的邊界;對于亞微米尺度的納米點磁疇陣列,更能清晰分辨其獨立單元。

這為精確統(tǒng)計磁疇尺寸、量化疇壁運動、以及表征納米磁性器件的實際磁態(tài)提供了直觀證據(jù),讓您的研究結(jié)論建立在清晰、確定的觀測基礎(chǔ)之上。

磁光克爾顯微鏡 

(a)為樣品Ta(4 nm)/CoFeB(0.7 nm)/MgO(2 nm)/Ta(2 nm)在磁場的驅(qū)動實現(xiàn)磁疇運動和翻轉(zhuǎn),樹枝狀磁疇,磁矩“1”和“0”信息狀態(tài)清晰可見。彩色環(huán)帶表示磁疇壁,白色小箭頭表示的是奈爾疇壁中磁矩方向,表示磁疇運動方向。

(b)為樣品CoTb(6 nm)/SiN(4 nm)在零磁場附近出現(xiàn)迷宮疇以及孤立斯格明子磁泡結(jié)構(gòu)(Skyrmions Bubble),圖中單個穩(wěn)定的Skyrmions Bubble的尺寸為1μm。為研究基于SK-RM賽道存儲器提供光學(xué)無損傷探測支持。

磁光克爾顯微鏡

 

1微米光刻磁疇測試
磁光克爾顯微鏡

鐵磁絕緣體樣品 斯格明子磁疇

挑戰(zhàn)四:在表征多晶樣品、復(fù)合薄膜或存在應(yīng)力梯度的材料時,不同晶?;騾^(qū)域的磁光響應(yīng)強度往往差異巨大。傳統(tǒng)設(shè)備大多成像圖像過曝或欠曝的區(qū)域無法用于定量分析,導(dǎo)致磁滯回線測量或磁疇統(tǒng)計時數(shù)據(jù)不完整或失真。

我們的方案:設(shè)備搭載了動態(tài)范圍高達30000:1的科學(xué)級相機,在一次曝光中捕獲磁光信號,使得強磁區(qū)、弱磁區(qū)、以及邊界(疇壁)的灰度過渡平滑、細(xì)膩,圖像層次,您將獲得高保真、可定量分析的全場磁疇圖像,為您的研究提供堅實可靠的量化數(shù)據(jù)。 

 

應(yīng)用案例

應(yīng)用一、垂直磁各向異性樣品磁疇成像與磁滯回線測量

磁光克爾顯微鏡 

1個原子層厚度(≈0.4nm)的磁性薄膜標(biāo)樣

應(yīng)用二、面內(nèi)磁各向異性樣品磁疇成像與磁滯回線測量

磁光克爾顯微鏡 

 

(a)面內(nèi)磁各向異性樣品,縱向-磁光克爾測試裝置示意圖。

(b)為樣品Pt(4nm)/Co(5nm)/Ta(2nm)在磁場的驅(qū)動實現(xiàn)磁疇運動和翻轉(zhuǎn),磁矩“1”和“0”信息狀態(tài)清晰可見。

(c)為樣品的磁滯回線,縱坐標(biāo)為歸一化的磁光克爾信號,橫坐標(biāo)為面內(nèi)掃描磁場。

磁光克爾顯微鏡 

由托托科技全新定義的磁光系統(tǒng)測量低至2nm的面內(nèi)薄膜

(標(biāo)樣:Si/Pt 1.5/Co t/Ta 4, unit in nm,@20X obj NA0.42)

應(yīng)用三、電流驅(qū)動的磁性翻轉(zhuǎn)

磁疇成像輔助測量,有助于實現(xiàn)多角度解釋電輸運信號中的反常信號,以及閾值電流下的磁疇取向與狀態(tài)。

磁光克爾顯微鏡 

(a) FePt(10nm)樣品電輸運表征與磁光克爾實現(xiàn)同步測試裝置示意圖。

(b)和(c)電流驅(qū)動磁矩翻轉(zhuǎn)和磁疇運動。沿FePt薄膜生長方向出現(xiàn)分層,呈現(xiàn)階段式翻轉(zhuǎn),如同神經(jīng)突觸收到多個閾值信息產(chǎn)生信息傳遞。

施加不同方向輔助場Hx,樣品磁疇翻轉(zhuǎn)極性發(fā)生轉(zhuǎn)變,如上圖(b)所示。

磁光克爾顯微鏡 

脈沖驅(qū)動磁疇翻轉(zhuǎn)

應(yīng)用四、2D材料磁疇檢測

二維鐵磁材料的發(fā)現(xiàn)為基礎(chǔ)物理和下一代自旋電子學(xué)打開了大門,其單晶層狀結(jié)構(gòu)給磁性表征帶來了極大的挑戰(zhàn),磁光克爾效應(yīng)是表征其磁疇狀態(tài)的高效技術(shù)手段。

磁光克爾顯微鏡 

290K下,樣品CuCr2Te/Cr2Te3,磁場驅(qū)動磁疇翻轉(zhuǎn)。上圖顯示的是180Oe磁場下的磁疇?wèi)B(tài),下圖顯示的是-180Oe磁場下的磁疇?wèi)B(tài)。

 

應(yīng)用五、梯度自旋流累積

磁光克爾顯微鏡 

(a)Pt(up to 3.2 nm)/Co(0.6 nm)/Pt(1.5 nm)楔形樣品構(gòu)建梯度自旋流積累,實現(xiàn)無場翻轉(zhuǎn)

(b)(c) I=10 mA,Hx= 0Oe,Hall Bar成核過程及對應(yīng)的磁滯回線

(d)(e) I=22 mA,Hx= 0Oe,Hall Bar 成核過程及對應(yīng)的磁滯回線

 

樣品測試數(shù)據(jù)

磁光克爾顯微鏡 

磁光克爾顯微鏡 

磁光克爾顯微鏡 

 

托托科技磁光克爾顯微鏡

磁光克爾顯微鏡

 設(shè)備搭載Digital Oblique®光學(xué)系統(tǒng),傾斜角度的控制精度更可達到0.03°,無需手動調(diào)控,可完成全自動光路優(yōu)化,測量重復(fù)性佳??商綔y低至2nm面內(nèi)薄膜信號和1個原子層厚度的垂直各向異性薄膜。另外,設(shè)備具備優(yōu)于0.5μm的顯微磁疇空間分辨率,能清晰分辨納米疇壁與磁疇陣列。

設(shè)備同時支持直流、脈沖、微波及光驅(qū)動等多激勵源,并能同步觀測磁疇動態(tài),一站式實現(xiàn)電、磁、光信號的關(guān)聯(lián)采集與分析。

磁光克爾效應(yīng)歷經(jīng)百年發(fā)展,從現(xiàn)象揭示到機理闡明,再到觀測技術(shù)的數(shù)字化與精準(zhǔn)化,持續(xù)推動著磁學(xué)與自旋電子學(xué)研究的深入。展望未來,隨著磁性材料與自旋器件不斷邁向納米化與功能化,磁光克爾 顯微鏡將繼續(xù)作為關(guān)鍵工具,為揭示磁疇動態(tài)機理、賦能新一代信息存儲與邏輯器件研發(fā)提供堅實支撐,助力前沿科技從實驗室走向產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。

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