基礎(chǔ)參數(shù)
類型/使用:在真空(SEM,部分真空,惰性氣體)中,在空氣中
主要縮進(jìn)模式:真正的位移
測試協(xié)議的適應(yīng)性:可定制軟件
升級(jí)選項(xiàng)/擴(kuò)展功能:高溫和超高應(yīng)變率模塊
縮進(jìn)
縮進(jìn)提示:Berkovich,Cube Corner,F(xiàn)lattop,Wedge,Spherical 等
縮進(jìn)范圍:40μm
位移噪底:<1nm
負(fù)載范圍:500mN 標(biāo)準(zhǔn)/可選 1.5N
加載本底噪聲:4μN(yùn)/12μN(yùn) RMS 噪聲
竇狀模式:200Hz 的位移模式
壓痕簡介:操作員可以自由定義任何輪廓(位移或載荷)
樣品頂端對(duì)齊
壓頭尖遠(yuǎn)程方法:22mm 范圍,1nm 分辨率(閉環(huán))
自動(dòng)接近模式:超過幾毫米
采樣位置范圍:26x26mm,1nm 分辨率(閉環(huán))
壓痕面積(推薦) 10x10mm
室溫下的漂移:5nm/min(在真空中)
超高應(yīng)變率模塊
應(yīng)變率:達(dá) 3000s -1
竇狀模式:開環(huán) 10kHz
啟動(dòng)范圍:1μm
測量范圍:1N
加載本底噪聲:30μN(yùn) RMS 噪聲
高溫模塊
高溫度范圍:標(biāo)準(zhǔn) 600℃/可選 800℃
在 600℃時(shí)的漂移:10nm/min
在 600℃時(shí)的穩(wěn)定時(shí)間:<3 小時(shí)
壓頭尖材料:金剛石,立方氮化硼,藍(lán)寶石,碳化鎢等
溫度穩(wěn)定性:10mK 分辨率




































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