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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

深圳華普通用科技有限公司，專(zhuān)業(yè)提供實(shí)驗(yàn)室分析測(cè)試儀器和自動(dòng)化方案。公司分為儀器代理和自主研發(fā)兩大業(yè)務(wù)板塊。代理業(yè)務(wù)是和國(guó)際儀器公司合作，從事設(shè)備代理以及售后服務(wù)。自主研發(fā)業(yè)務(wù)是綜合運(yùn)用自動(dòng)化、機(jī)器人、計(jì)算機(jī)視覺(jué)以及人工智能等技術(shù)，為客戶(hù)提供標(biāo)準(zhǔn)化儀器和自動(dòng)化解決方案，降低實(shí)驗(yàn)室人員工作強(qiáng)度，提升工作效率，同時(shí)提高工作質(zhì)量。華普通用擁有一支高效的研發(fā)團(tuán)隊(duì)和技術(shù)型的銷(xiāo)售隊(duì)伍，在公司十多年的發(fā)展過(guò)程中累了大量的行業(yè)案例和經(jīng)驗(yàn)。華普通用愿通過(guò)不懈的努力，與廣大客戶(hù)、合作伙伴精誠(chéng)合作，始終專(zhuān)注于為客戶(hù)提供智慧實(shí)驗(yàn)室解決方案，助力客戶(hù)成功！

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢(xún)價(jià)

日本理學(xué)全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF-V310通過(guò) VPD-TXRF 進(jìn)行晶圓表面污染測(cè)量超痕量元素表面污染的測(cè)量

日本理學(xué)全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF-V310-華普通用產(chǎn)品詳情

全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF-V310分析可以測(cè)量所有晶圓廠工藝中的污染，包括清潔、光刻、蝕刻、灰化、薄膜等。全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF-V310 可以使用單目標(biāo) 3 光束 X 射線系統(tǒng)和無(wú)液氮探測(cè)器系統(tǒng)測(cè)量從鈉到烏的元素。

全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF-V310包括理學(xué)的XYθ樣品臺(tái)系統(tǒng)，真空晶圓機(jī)器人轉(zhuǎn)移系統(tǒng)和新的用戶(hù)友好型Windows軟件。所有這些都有助于提高吞吐量、更高的準(zhǔn)確度和精度，以及簡(jiǎn)化的日常操作。

集成的 VPD 功能可實(shí)現(xiàn)一個(gè)晶圓的自動(dòng) VPD 制備，同時(shí)在另一個(gè)晶圓上進(jìn)行 TXRF 測(cè)量，以獲得的靈敏度和高吞吐量。全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF-V310消除了 ICP-MS 可能出現(xiàn)的操作員可變性，并且 VPD-TXRF 可以通過(guò)工廠自動(dòng)化控制?？蓮倪x定區(qū)域（包括斜面區(qū)域）進(jìn)行 VPD 恢復(fù)。

可選的掃描TXRF軟件可以繪制晶圓表面上的污染物分布圖，以識(shí)別可以更高精度自動(dòng)重新測(cè)量的“熱點(diǎn)”。

可選的 ZEE-TXRF 功能克服了原始 TXRF 設(shè)計(jì)歷 15 mm 邊緣排除的問(wèn)題，使測(cè)量能夠以零邊緣排除進(jìn)行。

可選的 BAC-TXRF 功能可實(shí)現(xiàn) 300 mm 晶圓的全自動(dòng)正面和背面 TXRF 測(cè)量，并進(jìn)行非接觸式晶圓翻轉(zhuǎn)。

特征

接受 300 mm、200 mm 和 150 mm 晶圓
多種分析元素（Na~U）
輕元素靈敏度（針對(duì)鈉、鎂和鋁）
單靶3光束法和XYθ載物臺(tái)是理學(xué)的，可在整個(gè)晶圓表面進(jìn)行高精度的超痕量分析
集成的全自動(dòng) VPD 制備，可實(shí)現(xiàn)靈敏度
1E7 原子/cm2 檢測(cè)限
從缺陷檢測(cè)工具導(dǎo)入測(cè)量坐標(biāo)以進(jìn)行后續(xù)分析
多任務(wù)處理：同時(shí)進(jìn)行 VPD 和 TXRF 操作，實(shí)現(xiàn)吞吐量

規(guī)格

產(chǎn)品名稱(chēng)	TXRF-V310
技術(shù)	全反射 X 射線熒光（TXRF）帶氣相分解（VPD）
效益	超痕量元素表面污染的測(cè)量;1E7 原子/cm2 檢測(cè)限
科技	自動(dòng) VPD 制備、三光束激發(fā)和自動(dòng)光學(xué)對(duì)準(zhǔn)
核心屬性	自動(dòng) VPD、旋轉(zhuǎn)陽(yáng)極 X 射線源、XYθ 樣品臺(tái)、無(wú)液氮檢測(cè)器，可接受 300 mm、200 mm 和 150 mm 晶圓
核心選項(xiàng)	用于全工廠自動(dòng)化的 GEM-300 自動(dòng)化軟件，SP-TXRF 功能可實(shí)現(xiàn)整個(gè)晶圓表面的映射，ZEE-TXRF 功能可實(shí)現(xiàn)零邊緣排除測(cè)量，BAC-TXRF 功能可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)正面和背面測(cè)量
計(jì)算機(jī)	內(nèi)置電腦，微軟視窗操作系統(tǒng)®
核心尺寸	1200（寬）x 2050（高）x 2990（深）毫米
質(zhì)量	1650公斤（核心單元）
電源要求	3?， 200 VAC 50/60 Hz， 125 A

關(guān)鍵詞：光譜儀

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