微觀驅(qū)替物模系統(tǒng)
主要由注入系統(tǒng)、模型系統(tǒng)、計(jì)量系統(tǒng)、數(shù)據(jù)及圖像采集處理系統(tǒng)四個(gè)部分組成。詳見系統(tǒng)流程圖
(1)注入系統(tǒng)由注入泵、氣體調(diào)壓系統(tǒng)、中間容器、真空泵、環(huán)壓泵等組成??商峁┳⑷胨?氣體/化學(xué)劑等多重介質(zhì),用于注入模型本體。在設(shè)計(jì)流程時(shí),要求整個(gè)流程,包括使用的管閥件死體積盡可能小。
(2)模型系統(tǒng)由高溫高壓可視模型、平射光源、恒溫箱等組成。
(3)計(jì)量系統(tǒng)由測(cè)壓傳感器、溫控儀、計(jì)量管和回壓系統(tǒng)等組成。
(4)數(shù)據(jù)及圖像采集處理系統(tǒng)包括高倍顯微鏡、彩色攝像頭、圖像采集卡、數(shù)碼照相機(jī)、臺(tái)式電腦、微觀驅(qū)替數(shù)據(jù)及圖像分析軟件等。
主要技術(shù)參數(shù)
工作壓力:50MPA
工作溫度:150℃
微觀刻蝕模型




































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