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納米表面測(cè)量?jī)x

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  • 所在地區(qū)北京
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  • 產(chǎn)品數(shù)量58
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北京德華振峽科技有限公司由留德歸國(guó)人員成立,在北京中關(guān)村科技園區(qū)注冊(cè)。北京德華的產(chǎn)品應(yīng)用范圍包括精密光學(xué),半導(dǎo)體器件,納米材料分析,MEMS,汽車工業(yè)等。德國(guó)施耐德與美國(guó)QED合作的磁流體拋光機(jī),擁有世界Z高精度的面形修正技術(shù)。美國(guó)ZYGO激光干涉儀是世界標(biāo)準(zhǔn)的代表。德國(guó)FRT納米表面測(cè)量技術(shù)擁有納米級(jí)的高分辨率。

北京德華為中國(guó)用戶提供德國(guó)和美國(guó)的現(xiàn)代加工和測(cè)量技術(shù), 希望我們的努力有益于您的生產(chǎn)和科研。

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德國(guó)FRT測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用于所有類型的表面測(cè)量分析。納米表面測(cè)量?jī)x采用一個(gè)或多個(gè)傳感器高精密測(cè)量輪廓特征,表面粗糙度,平面度、平行度以及形貌特征和薄膜厚度等。使用光學(xué)白光色差傳感器進(jìn)行非接觸無(wú)損傷測(cè)量,工作距離大,快速輸出2D或3D測(cè)量數(shù)據(jù)。適合研發(fā)和質(zhì)控領(lǐng)域應(yīng)用范圍:半導(dǎo)體晶片加工檢測(cè);鈉米刻蝕和操作;MEMS;IC封裝;汽車制造系統(tǒng);復(fù)合材料分析;生物分析磨擦分析;薄膜厚度測(cè)量,微細(xì)結(jié)構(gòu)分析等。
納米表面測(cè)量?jī)x 產(chǎn)品詳情

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納米表面測(cè)量?jī)x使用光學(xué)色差傳感器FRT CWL詳細(xì)介紹如下:

光學(xué)色差傳感器FRT CWL 工作原理和技術(shù)數(shù)據(jù)

光學(xué)色差傳感器(Chromatic sensor FRT CWL)非接觸地測(cè)量零件的表面,具有高分辨率和高測(cè)量精度。傳感器可以測(cè)量所有的表面,與被測(cè)零件的反射能力,粗糙度和顏色無(wú)關(guān)。非常小的測(cè)量斑點(diǎn)保證了很高的幾何位置分辨率。采用不同的測(cè)量頭,能夠達(dá)到納米級(jí)的高分辨率和毫米級(jí)的測(cè)量范圍。測(cè)量是同軸進(jìn)行的,避免了在照明方向和測(cè)量方向不一致時(shí)產(chǎn)生的光暈現(xiàn)象。

測(cè)量的基本原理是,用白光進(jìn)行逐點(diǎn)距離測(cè)量。聚焦白光照射被測(cè)零件表面,傳感器測(cè)量反射光線的波長(zhǎng)分布,由此測(cè)定零件的優(yōu)良高度。由于各種原因產(chǎn)生的光強(qiáng)變化不影響測(cè)量,比如不同的材料,劃痕或表面粗糙度。

色差傳感器的距離測(cè)量與傳統(tǒng)的光學(xué)測(cè)試頭的本質(zhì)區(qū)別是在測(cè)量方向無(wú)移動(dòng)部件,無(wú)磨損測(cè)量。由于跟蹤透鏡的系統(tǒng)擺動(dòng)而產(chǎn)生的誤差被消除了。

色差傳感器不僅給測(cè)量?jī)x器提供了出色的技術(shù)特性,而且堅(jiān)固結(jié)實(shí),非常適合復(fù)雜生產(chǎn)環(huán)境的特殊要求。被動(dòng)式的測(cè)試頭通過(guò)光纖與電子單元連接,可以距離傳感器電子系統(tǒng)數(shù)米遠(yuǎn)工作。

FRT CWL 的工作原理是色差距離測(cè)量。白光通過(guò)測(cè)試頭,以不同波長(zhǎng)的焦距聚焦在零件表面。照射在零件表面的光線的光譜,在光譜儀中有一個(gè)峰值,由這個(gè)峰值波長(zhǎng)來(lái)確定零件的高度。利用這個(gè)原理,傳感器能毫無(wú)問(wèn)題地測(cè)量透明的,高反射的,或者黑色的表面。這種測(cè)量非常迅速,而且沒有邊緣效應(yīng)(艾伯哈應(yīng))。

色差傳感器有一個(gè)LC 顯示器實(shí)時(shí)顯示測(cè)量值,通過(guò)功能鍵可以設(shè)置傳感器功能。通過(guò)RS232 接口與系統(tǒng)連接。

MicroProf 基本型號(hào):

MicroProf 100

MicroProf 200

MicroProf 300

MicroProf 600

測(cè)量范圍*

100mmX100mm

200mmX200mm

300mmX300mm

600mmX600mm

測(cè)量速度

100mm/sec

100mm/sec

100mm/sec

100mm/sec

測(cè)量零件高度*

Max. 50mm

Max. 50mm

Max. 50mm

Max. 50mm

測(cè)量頭裝置

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注:*----為根據(jù)用戶的不同測(cè)量要求,進(jìn)行選擇

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