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公司介紹主營產品

歐屹科技主營激光、光電儀器、電子封裝設備，是業(yè)內專業(yè)的代理經銷與綜合服務企業(yè)。依托多年行業(yè)積淀，公司為客戶引入海內外激光器、光電器件、光電儀器、光電系統(tǒng)及電子封裝設備等裝備。其中無掩膜光刻機、空芯光纖、微區(qū)取樣儀、應力雙折射測試儀等產品，深受客戶認可。

同時，憑借扎實的技術能力、的售后體系與成熟的跨境業(yè)務經驗，我們可為客戶提供保障。我們始終用心經營，致力打造值得客戶長期信賴的企業(yè)。

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產品簡介在線詢價

可一次性檢查第三代半導體 SIC 等材料表面，背面和內部的缺陷，可探測小缺陷為100 納米，主要用于半導體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內部、背面的缺陷檢查。

晶圓缺陷檢測系統(tǒng)LODAS 產品詳情

簡介

列真公司在半導體光罩檢測設備上積累了獨自技術，主產品 LODAS ™系列具有日本權 (號：2017-096912、2019-179097、2019-082496)的激光檢測技術。

可同時探測收集激光的反射光，透射光以及共聚焦，可一次性檢查第三代半導體 SIC 等材料表面，背面和內部的缺陷，可探測小缺陷為100 納米，

主要用于SIC、半導體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內部、背面的缺陷檢查。將此項技術運用于第三代半導體材料的缺陷檢查，將提升量產成品率將具有重要意義。

應用

SiC、GaN

半導體光罩（石英玻璃與涂層）、

石英Wafer Si Wafer

HDD Disk LT Wafer

藍寶石襯底、

EUV光罩、

光罩防塵膜

可全面檢測表面、內部、背面的缺陷

外延缺陷

胡蘿卜型缺陷

彗星缺陷

三角缺陷

邊緣缺陷

襯底缺陷

微管缺陷

層錯缺陷

六方空洞缺陷

缺陷檢測對象和種類

關鍵詞：石英玻璃

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