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電子廠房冷卻工業(yè)冷水機丨多設備集中冷卻

參考價訂貨量

¥135000

≥1臺

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌邁浦特MAIPT
  • 所在地蘇州市
  • 更新時間2025-07-15
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)成都市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量196
  • 人氣值6313
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邁浦特科技2010年成立于香港,蘇州邁浦特機減有限公司是邁浦特機械在大陸設立的生產(chǎn)基地,并于2017年在南通成立南通邁浦特機械有限公司,于2021年在廣東深圳成立深圳邁浦特機械有限公司以及2024年在四川成立邁浦特機械有限公司公司一直致力于TCU溫控系統(tǒng),新能源溫控測試系統(tǒng)、高低溫一體機,模具溫度控制機,冷水機,冷熱一體機等溫度控制機的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務和技術咨詢,提供工業(yè)溫度控制技術及解決方案的供應商

邁浦特信助于多年成功經(jīng)驗,以專業(yè)技術,在壓鑄,食品化工,醫(yī)療,印刷,包裝,復合材料,電池包、測試機,橡膠壓延等科研行業(yè)提供所需的各種溫控設備和技服務,為客戶們提供各種應用工藝過程中加熱或冷卻,恒溫的技術服務,不僅僅是提供設備,我們提供更多的是解決方案以及對使用者的合理建議,注重客戶的使用感受,對設備品質(zhì)孜孜不的追求,得到業(yè)界和使用客戶一致認可,是替代進口設備的可靠選擇



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電子廠房冷卻工業(yè)冷水機是為半導體、顯示面板、電子元器件等電子制造業(yè)潔凈廠房研發(fā)的專業(yè)制冷設備,核心功能是為生產(chǎn)車間、潔凈室及工藝設備(如光刻機、鍍膜機)提供恒定溫濕度環(huán)境。在電子制造中,環(huán)境溫度每波動 1℃,精密設備的加工精度可能下降 5%-10%,濕度偏差超 5% 則易引發(fā)靜電擊穿或氧化銹蝕(廢品率可達 2%-3%)。馬(技術員企微):
電子廠房冷卻工業(yè)冷水機丨多設備集中冷卻 產(chǎn)品詳情

一、產(chǎn)品概述
電子廠房冷卻工業(yè)冷水機是為半導體、顯示面板、電子元器件等電子制造業(yè)潔凈廠房研發(fā)的專業(yè)制冷設備,核心功能是為生產(chǎn)車間、潔凈室及工藝設備(如光刻機、鍍膜機)提供恒定溫濕度環(huán)境。在電子制造中,環(huán)境溫度每波動 1℃,精密設備的加工精度可能下降 5%-10%,濕度偏差超 5% 則易引發(fā)靜電擊穿或氧化銹蝕(廢品率可達 2%-3%)。傳統(tǒng)空調(diào)存在溫濕度控制精度低(±2℃/±5% RH)、潔凈度適配性差等問題,而本冷水機憑借 18℃-26℃精準控溫(±0.5℃)、40%-60% 恒濕控制(±3% RH)及低微粒設計,使車間溫濕度穩(wěn)定性提升 50%,產(chǎn)品良率提高至 99% 以上,助力電子企業(yè)突破精密制造的環(huán)境瓶頸。
二、產(chǎn)品描述
  1. 潔凈精準溫控系統(tǒng):實現(xiàn) 5℃-35℃寬域控溫(靜態(tài)精度 ±0.5℃)。針對潔凈室的溫濕度均勻性要求,通過 FFU 風機過濾單元與分布式送回風設計,確保車間內(nèi)任意點溫差≤±1℃,濕度偏差控制在 ±2% RH 以內(nèi),懸浮粒子濃度(0.5μm)≤3520 粒 /m3(符合 ISO 5 級潔凈標準)。相比傳統(tǒng)空調(diào),光刻機工作環(huán)境穩(wěn)定性提升 40%,顯示面板光刻線寬偏差縮小至 ±0.1μm,有效減少因溫濕度波動導致的工藝缺陷。

  1. 智能工藝聯(lián)動技術:搭載潔凈室專用 PLC 與高精度溫濕度傳感器,實時采集車間溫濕度、工藝設備發(fā)熱功率、空氣潔凈度等 12 項參數(shù),通過負荷預測算法動態(tài)調(diào)節(jié)制冷量與加濕量。支持與廠房 MES 系統(tǒng)對接,根據(jù)生產(chǎn)節(jié)拍(如晶圓曝光時段自動增強控溫)切換運行模式,實現(xiàn) “高精密加工 - 穩(wěn)定”“設備待機 - 節(jié)能運行” 的智能匹配。操作人員通過 10 寸無塵觸摸屏監(jiān)控三維溫濕度場,系統(tǒng)自動生成環(huán)境參數(shù)報告(月度溫濕度波動≤±0.3℃/±2% RH)。

  1. 低微粒與安全設計:與循環(huán)水接觸部件采用 316L 不銹鋼材質(zhì),內(nèi)壁電解拋光(Ra≤0.8μm),避免微粒脫落(≤1 個 /ft3@0.1μm),水路系統(tǒng)配備超純水過濾裝置(電阻率≥18.2MΩ?cm),符合 SEMI F47 標準。設備外殼采用無磁不銹鋼,表面防靜電處理(表面電阻 10?-10?Ω),防護等級達 IP54,適應 Class 5 級潔凈室環(huán)境。配備多重安全保護:超溫聯(lián)鎖(室溫超 28℃立即報警)、濕度異常保護(RH<35% 或>65% 自動調(diào)節(jié))、空氣微粒超標預警,符合 GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范,保障精密制造安全。

三、應用場景
  1. 半導體晶圓廠:用于 12 英寸晶圓制造潔凈室(Class 5 級),通過控制光刻區(qū)溫度在 23℃±0.1℃、濕度 45%±2% RH,確保光刻機曝光精度達 1nm 級,晶圓良率提升 5% 以上,滿足 7nm 以下制程需求。

  1. OLED 顯示面板廠:在蒸鍍車間(Class 4 級潔凈室)采用分布式冷水機方案,控制基板傳輸區(qū)溫度在 20℃±0.2℃,使面板殘影不良率下降至 0.1% 以下,適配柔性 OLED 屏幕的量產(chǎn)需求。

  1. 電子元器件廠房:針對 MLCC(多層陶瓷電容器)燒結(jié)后的冷卻,通過 25℃±0.5℃精準控溫與低振動設計(振動加速度≤0.1g),使元件容量偏差控制在 ±1% 以內(nèi),滿足汽車電子的高可靠性要求。

  1. 光伏電池片工廠:在 PERC 電池片鍍膜工序中,為 PECVD 設備提供 22℃±0.3℃冷卻,控制鍍膜均勻性偏差≤2%,電池轉(zhuǎn)換效率提升 0.3% 以上,適應 GW 級光伏產(chǎn)能的穩(wěn)定生產(chǎn)。











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