產品特點：

1，多種晶圓測量應用

• 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV

• 射頻、毫米波、負載拉移&4-port

• -60 至 300 °C 之集成電路設計驗證、失效分析

• 可靠性測試
  

2，高彈性量測平臺

• MPI IceFreeEnvironment™ 讓用戶即使是行使低溫測試，也能同時使用微定位器與探針卡

• 可編程的顯微鏡滑臺實現(xiàn)便利的自動化測試

• 實現(xiàn)電纜接口與集成電路測試儀器距離最短化

• 實現(xiàn)工作臺─載物臺距離最短化，是理想的毫米波量測和主動式探針架針平臺

• 支援晶圓切后貼于?？蛑繙y
  
  

3，工效學設計及彈性選配

• 簡易便利的前門單晶圓/待測物上片設計

• 內建防震系統(tǒng)

• 完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量測操作

• 安全測試管理系統(tǒng) (Safety Test Management, STM™)選配具自動進行露點控制功能

• 預留制冷機組空間，節(jié)省空間不占位

• 儀器架選配，可縮短射頻電纜之架設長度，提供最高的量測機能

設備簡介：

MPI的TS3000是一個300毫米自動測頭系統(tǒng)，專門為產品工程， 故障分析， 設計驗證， 晶圓級可靠性 以及 RF和mmW 應用而設計。

TS3000功能集提供：

• 溫度范圍-60…300°C

• 的靈活性

• 通過設計專用的電纜接口，與功能測試儀的最小電纜距離可實現(xiàn)更好的測量方向性

• 最小的壓板到卡盤高度，以實現(xiàn)的mmW和內部節(jié)點探測

• 最小的系統(tǒng)占地面積，在內部集成了熱力系統(tǒng)的冷卻器。兩者的結合使TS3000探針臺成為市場所產品。