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LST-208型白光共焦法平面度測試儀

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  • 型號
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  • 廠商性質(zhì)其他
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  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量9
  • 人氣值444
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北京三禾泰達(dá)技術(shù)有限公司成立于2003年1月21日2018~2020年間共取得11項(xiàng)產(chǎn)品軟件著作權(quán)2018年激光干涉測平儀項(xiàng)目獲得北京市朝陽區(qū)頒發(fā)的研發(fā)能力提升獎(jiǎng)勵(lì)2020年被認(rèn)定為企業(yè)。2021年被認(rèn)定為中關(guān)村企業(yè)2021年2月有10項(xiàng)實(shí)用新型申請被國家局受理。十幾年來公司通過在測量領(lǐng)域的深耕和拓展,為市場提供了數(shù)款性價(jià)比的測量儀器,其中7種儀器。公司產(chǎn)品主要面向五個(gè)大的市場方向: 半導(dǎo)體WAFER平面度/厚度檢測、光學(xué)玻璃幾何參數(shù)特征檢測、利用近紅外光進(jìn)行砷化鎵/硅晶體缺陷檢測、壓電水晶諧振器電學(xué)參數(shù)檢測以及激光傳感器應(yīng)用研究,我們的產(chǎn)品包括:LINT-208G型WAFER平坦度半自動測試儀,該儀器目前;LINT-208G型WAFER平坦度/厚度全自動測試系統(tǒng),該儀器目前;LST-208H型共聚焦法平面度測試儀,該系統(tǒng)處于國內(nèi)水平;ALC-2120型在線自動研磨頻率控制儀,該儀器當(dāng)年;ALC-SI型硅在線自動研磨厚度控制儀,該儀器當(dāng)年;TCS-A型電渦流在線研磨厚度控制儀,該儀器目前;ABS-2000型壓電水晶BLANK頻率分選機(jī)TMI-A型激光厚度測量儀,該儀器目前;WMS-208AT型WAFER 激光全自動厚度分選機(jī),該儀器市場反應(yīng)良好;我們的宗旨是通過向世界提供高技術(shù)高精度的測量儀器和高水平的服務(wù)提升中國在檢測及激光傳感器領(lǐng)域的總體水平。我們的目標(biāo)是在激光測量領(lǐng)域做到世界。
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LST-208型白光共焦法平面度測試儀測量原理本機(jī)采用白光共聚焦傳感器掃描法進(jìn)行表面形貌測量,經(jīng)過測量可以得到Wafer的表面幾何尺寸特征信息
LST-208型白光共焦法平面度測試儀 產(chǎn)品詳情
LST-208型白光共焦法平面度測試儀
LST-208型白光共焦法平面度測試儀

測量原理

本機(jī)采用白光共聚焦傳感器掃描法進(jìn)行表面形貌測量,經(jīng)過測量可以得到 Wafer 的表面幾何尺寸特征信息。

功能設(shè)計(jì)

本機(jī)主要用于測量碳化硅、藍(lán)寶石、玻璃、砷化鎵、磷化銦、硅、鍺、金屬、陶瓷等平板材料的微觀形貌特征。我們使用 Semicon 定義來表述 wafer 形貌,如:THK(厚度)、TTV(厚度變化)、TIR、WARP(翹曲度)、SORI、BOW(彎曲度)等。

性能參數(shù)指標(biāo)

分辨率(Resolution): 0.05μm

傳感器重復(fù)性(Repeatability): 0.20μm

測量精度(Accuracy): ±0.5μm(雙拋片)

測量點(diǎn)數(shù)(Data Points): 1 個(gè)/50μm

厚度精度(Thickness): ±0.5μm(雙拋片)

半自動型速度(Speed): 35s/片(米字型)

3、環(huán)境要求

儀器外擴(kuò)/重量:L920*W800*H1370(MM)/450Kg 電腦/顯示器工作臺:L700*W700*H750(MM)

電源:AC220V/50HZ/1KW(帶地線/空間無強(qiáng)磁干擾) 潔凈度:千級或百級(環(huán)境內(nèi)無酸堿氣體)

地面:隔振地面

溫/濕度:23℃±2℃/≤70%;無水氣凝結(jié)

關(guān)鍵詞:顯示器
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