SE500橢偏儀薄膜測(cè)量薄膜材料的厚度、NK性能250-1700nm

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

橢偏儀是一種利用光的偏振態(tài)變化來進(jìn)行薄膜性質(zhì)表征的儀器，主要用來測(cè)量薄膜材料的厚度、NK參數(shù)等性質(zhì)。橢偏儀的主要原理是將自然光（紫外光、可見光以及紅外光）變成偏振光后通過一定角度入射到樣品上，偏振光進(jìn)入樣品介質(zhì)后會(huì)反射回到橢偏儀檢偏器內(nèi)，由于樣品介質(zhì)會(huì)對(duì)偏振光的偏振態(tài)發(fā)生改變，而這種改變會(huì)被橢偏儀測(cè)量，橢偏儀就是利用這個(gè)介質(zhì)對(duì)偏振光性質(zhì)改變的原理來表征介質(zhì)的性質(zhì)的
SE500型號(hào)采用雙光譜儀耦合實(shí)現(xiàn)250-1700nm超長(zhǎng)波段的探測(cè)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料紫外、可見和紅外波段的全覆蓋測(cè)量研究，同時(shí)可搭配自動(dòng)平臺(tái)掃描、自動(dòng)變角、微光斑探測(cè)以及平臺(tái)加熱等功能滿足不同應(yīng)用需求。


產(chǎn)品相冊(cè)





設(shè)備配置

探測(cè)器：陣列探測(cè)器,

光源：高功率的DUV-Vis-NIR復(fù)合光源

軟件：TFProbe 3.3版本的軟件

入射角度變化：手動(dòng)調(diào)節(jié)

測(cè)量種類：薄膜厚度、折射率和消光系數(shù)以及多層膜堆疊

計(jì)算機(jī)：Intel雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器

電源：110–240V AC/50-60Hz，6A



保質(zhì)期

保修：一年的整機(jī)及零部件保修

技術(shù)參數(shù)


波長(zhǎng)范圍：250nm到1700 nm

光斑尺寸：1mm至5mm可變

樣品尺寸：直徑可達(dá)200mm

測(cè)量厚度范圍*：〜30μm

測(cè)量時(shí)間：約1/位置點(diǎn)

入射角范圍：20到90度，5度間隔

重復(fù)性誤差*：小于1 Ǻ