尼康公司（東京港區(qū)總裁 Kazuo Ushida）發(fā)布了一代尼康 ArF 浸入式掃描儀 NSR-S631E。該光刻系統(tǒng)專為大批量半導(dǎo)體制造中的 7 納米節(jié)點(diǎn)工藝而開發(fā)。它支持多重圖案* ，并具有經(jīng)過驗(yàn)證的Streamlign平臺（也用于的 NSR-S630D）的高精度和出色的生產(chǎn)力。NSR-S631E 可滿足下一代客戶的制造要求，進(jìn)一步提高覆蓋和產(chǎn)量，這在多重圖案化工藝中至關(guān)重要。

NSR-S631E通過使用新型投影鏡頭以及改進(jìn)的對準(zhǔn)系統(tǒng)標(biāo)記檢測和測量，提供 2.3 nm 或以下的混合匹配覆蓋 (MMO * )。S631E 還可以通過每小時(shí)高達(dá) 270（96 次）晶圓的生產(chǎn)能力限度地提高晶圓廠的生產(chǎn)力。

主要特征

1.配備Streamlign平臺

• 鳥瞰控制：顯著提高疊加精度的測量系統(tǒng)

  結(jié)合用于晶圓載物臺位置測量的編碼器和干涉儀的混合系統(tǒng)，分劃板載物臺位置使用 2D 編碼器進(jìn)行測量。這使得每個(gè)平臺的位置測量不受空氣波動(dòng)的影響，從而提高了疊加精度。

• 流對齊：可顯著提高吞吐量的測量技術(shù)

  通過將現(xiàn)場圖像對準(zhǔn) (FIA) 顯微鏡的數(shù)量增加到五個(gè)（五眼 FIA）*，可以在更短的時(shí)間內(nèi)執(zhí)行對準(zhǔn)測量。五眼 FIA 可將吞吐量損失降至，即使必須測量多個(gè)點(diǎn)（幾乎等于全部鏡頭數(shù)量）也是如此。

• Modular 2 (Modular Squared) Structure：模塊化結(jié)構(gòu)，提高可維護(hù)性

  分層模塊化結(jié)構(gòu)意味著在客戶現(xiàn)場啟動(dòng)設(shè)備所需的時(shí)間更少，并簡化了系統(tǒng)維修。這大大提高了可維護(hù)性。

• *五眼 FIA：改進(jìn)型的 FIA，有 5 個(gè)對準(zhǔn)顯微鏡，而不是傳統(tǒng)的 1 個(gè)。

2. 提高產(chǎn)品性能

S631E 采用新開發(fā)的投影鏡頭設(shè)計(jì)，提供更好的像差校正功能，以確保的成像性能。此外，創(chuàng)新的測量光學(xué)系統(tǒng)提高了產(chǎn)品的對準(zhǔn)和聚焦精度。