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QMG 700 分析質(zhì)譜儀

參考價
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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-02-13
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)深圳市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量107
  • 人氣值4177
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深圳市萬德泉科技有限公司是一家集真空技術開發(fā)、應用與貿(mào)易于一體的專業(yè)公司。產(chǎn)品廣泛運用于真空行業(yè)、鍍膜、太陽能、半導體、科學研究、電力行業(yè)、航空航天、*制造等領域。作為多家的真空設備及真空儀器供應商的代理商,我們可以為客戶提供較佳的全套真空解決方案,解決客戶真空應用的難題,并且使客戶的成本降到低。我們代理銷售的產(chǎn)品如下:

瑞士Inficon (英??担?/span>膜厚控制儀及探頭、石英晶振片、真空計、檢漏儀、殘余氣體分析儀、真空閥門、真空連接件。
美國Agilent(安捷倫,原瓦里安)渦旋式干泵、分子泵、氦質(zhì)譜檢漏儀。
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QMG 700 分析質(zhì)譜儀QMG 700 分析質(zhì)譜儀超越檢測極限且達到優(yōu)異的穩(wěn)定性和細微的分辨率 半導體制造技術的快速發(fā)展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或實驗室中,選擇 INFICON QMG 700 分析質(zhì)譜儀以突破檢測極限,推動工藝創(chuàng)新,提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設計帶來的性能和適應性。利用 QMG 700 增強競爭優(yōu)勢,獲得出眾的測量能力。 根據(jù)具......
QMG 700 分析質(zhì)譜儀 產(chǎn)品詳情

QMG 700 分析質(zhì)譜儀

超越檢測極限且達到優(yōu)異的穩(wěn)定性和細微的分辨率

半導體制造技術的快速發(fā)展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或實驗室中,選擇 INFICON QMG 700 分析質(zhì)譜儀以突破檢測極限,推動工藝創(chuàng)新,提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設計帶來的性能和適應性。利用 QMG 700 增強競爭優(yōu)勢,獲得出眾的測量能力。


根據(jù)具體的應用要求,選擇配制合適的離子源、濾質(zhì)器和射頻電源,可量身定制QMG 700。QMG 700有超過九個數(shù)量級的動態(tài)測量量程,達到ppb 檢測量級,這種優(yōu)勢使其成為超高真空測量的理想選擇。QMG 700 對整個質(zhì)量范圍都有很高的分辨率,對較低的質(zhì)量可獲得更高的分辨率。對于某些挑戰(zhàn)性的測量應用,如同位素分析,氦和氘分離等,QMG 700是的選擇。QMG 700 出色的長期穩(wěn)定性可保證關鍵性的測量,有效控制您的工藝。

INFICON 在分析質(zhì)譜儀領域五十多年的歷史和的技術,確保QMG 700 成為進行氣體分析的正確選擇。依賴 INFICON QMG 700 以及我們享譽世界的應用專長,您可獲得始終如一的高精度測量數(shù)據(jù)。


功能

  • 質(zhì)量范圍選擇為 1-2048 amu
  • 超過九個數(shù)量級的動態(tài)量程
  • 極快的測量速度:0.125 ms/amu
  • MDPP < 10E-16 mbar
  • 涵蓋整個質(zhì)量范圍的高分辨率:質(zhì)量 1、2 和 3 可在 ppb 范圍內(nèi)清晰地分離

  • 超過 10 個不同的離子源和離子光學組合
  • 離散或連續(xù)倍增電極電子倍增器選件
  • 用于正負離子以及中性粒子分析的離子計數(shù)前置放大器
  • IO 選項:8 個模擬輸入/輸出和 32 個數(shù)字輸入/輸出
  • 軟件功能*,靈活實用且具友好的用戶界面

典型應用

  • Gas discharge mass spectrometry
  • End point detection
  • Deposition material monitoring
  • Secondary ion mass spectrometry

零件號

QMA 400
零件號 明細
490-709
490-710 QMA 400 with axial Ionenq.
490-711 QMA 400, 8mm Mo,217, W, CB
490-712 QMA 400 mit CB-IQ, MAG
490-713 QMA 400, 8mm Mo,217, CB-GT
490-721 QMA 400 mit CB_Ionenq. gasd.
490-722 QMA 400 m. CB-IQ, Y-Kat., Mag. isol.
490-755
490-756 QMA 400, 8mm Mo, UF6
490-756-2 QMA 400, 8mm Mo, UF6 Untested Assembly
490-770 QMA 400 mit CB-Ionenq.gasd., spezial
490-772 QMA 400 with Axial Ionenq, W
BKM07627
PTM07736 QMA 400 mit Crossb.-Ionenq.
QMA 410
零件號 明細
490-811 QMA 410 Cross Beam IS w/ Magnet
490-813 QMA 410, CB-IQ Gas-Tight with Magnet
490-816 QMA 410,16mm Mo,217, W, CB
QMA 430
零件號 明細
490-911 QMA 430, 8mm SS,217, W, CB
490-912 QMA 430, 8mm SS,217, W, CB-GT
490-921 QMA 430, 8mm SS,217, W, CB (GIA)

規(guī)格

類型 QMA 400 QMA 410 QMA 430
質(zhì)量范圍 1-2048 amu (1) 1-340 amu (2) 1-300 amu
傳感器長度 441.5 mm 548 mm 441.5 mm
桿直徑 8 mm 16 mm 8 mm
桿材料 Molybdenum Molybdenum Stainless Steel
法蘭 DN 63 CF-F DN 100 CF-F DN 63 CF-F
檢測器類型 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217
工作壓力 (FC) 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar
工作壓力 (EM) 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar
靈敏度 5 E-4 A/mbar 1 E -3 A/mbar 2 E-4 A/mbar
最小可檢測分壓 1 E-15 mbar 5 E-16 mbar 1 E-15 mbar
分辨率(可調(diào)) 0.3 - 7 amu 0.2 - 2.2 amu 0.3 - 7 amu
分壓比 < 0.5 ppb < 0.5 ppb < 0.5 ppb
工作溫度 傳感器 150 °C 150 °C 150 °C
烘烤溫度 400 °C 400 °C 400 °C
工作溫度 電子單元 40 °C 40 °C 40 °C
測量速度 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu
電源 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC

(1) QMA 400 的可檢測質(zhì)量范圍為:1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。

QMA 400 的規(guī)格基于 512 amu 質(zhì)量范圍、聚焦離子源系統(tǒng)配置

(2) QMA 410 的可檢測質(zhì)量范圍: 1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。

QMA 410 的規(guī)格基于 128 amu 質(zhì)量范圍、聚焦離子源系統(tǒng)配置

關鍵詞:質(zhì)譜儀
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