深圳市萬德泉科技有限公司是一家集真空技術(shù)開發(fā)、應(yīng)用與貿(mào)易于一體的專業(yè)公司。產(chǎn)品廣泛運用于真空行業(yè)、鍍膜、太陽能、半導(dǎo)體、科學(xué)研究、電力行業(yè)、航空航天、*制造等領(lǐng)域。作為多家的真空設(shè)備及真空儀器供應(yīng)商的代理商，我們可以為客戶提供較佳的全套真空解決方案，解決客戶真空應(yīng)用的難題，并且使客戶的成本降到低。我們代理銷售的產(chǎn)品如下：

瑞士Inficon （英?？担?/span>膜厚控制儀及探頭、石英晶振片、真空計、檢漏儀、殘余氣體分析儀、真空閥門、真空連接件。
美國Agilent（安捷倫，原瓦里安）渦旋式干泵、分子泵、氦質(zhì)譜檢漏儀。
英國Edwards （愛德華）旋片泵、渦旋干式泵、分子泵、真空規(guī)管。
瑞士VAT插板閥、閘閥、蝶閥、角閥等全系列真空閥門。
日本Hitachi Metals(原Aera）質(zhì)量流量控制器。

美國MKS質(zhì)量流量控制器。
美國SRS 四級質(zhì)譜殘余氣體分析儀。

美國Keyhigh 陶瓷壓電閥。

韓國ONE C TECH低溫冷肼、壓縮機和冷媒銷售

美國Angstromsciences磁控濺射陰極、靶材、反應(yīng)氣體控制器。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

Transpector MPH 殘余氣體分析儀Transpector MPH 殘余氣體分析儀監(jiān)控您的過程的性能有助于提高產(chǎn)量并實現(xiàn)最長運行時間持續(xù)升高的硅晶圓價格和成品需求意味著損壞晶圓的代價比以前更高。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過程并監(jiān)測缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實現(xiàn)業(yè)內(nèi)的性能，有助于限度地提高芯......

Transpector MPH 殘余氣體分析儀產(chǎn)品詳情

Transpector MPH 殘余氣體分析儀

監(jiān)控您的過程

的性能有助于提高產(chǎn)量并實現(xiàn)最長運行時間

持續(xù)升高的硅晶圓價格和成品需求意味著損壞晶圓的代價比以前更高。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過程并監(jiān)測缺陷也變得更加重要。Transpector
MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實現(xiàn)業(yè)內(nèi)的性能，有助于限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時間。Transpector MPH
兼具較低總體擁有成本和較長故障平均間隔時間的特性，有助于讓您的盈虧底線優(yōu)于市場上的所有其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON
發(fā)揮其在氣體分析過程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長，制造的 RGA 擁有業(yè)內(nèi)的數(shù)據(jù)采集速度、可檢測分壓和最小的信噪比。所有這些特性都不會犧牲 INFICON
Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

功能

模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms 每點數(shù)據(jù)率
TCP/IP 以太網(wǎng)連接
雙絲極
可現(xiàn)場更換電子倍增器
組合陽極、陰極和反射極絲極套件
較短的傳感器可降低安裝占地面積
九個數(shù)量級的動態(tài)量程
<2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型號)
信噪比更高
可調(diào)換傳感器和電子元件
傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測試并進行雙層包裝
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

規(guī)格

類型		MPH100F	MPH100M	MPH200F	MPH200M	MPH300F	MPH300M
傳感器長度		14.3 cm	19.3 cm	14.3 cm	19.3 cm	14.3 cm	19.3 cm
質(zhì)量范圍		100 amu	100 amu	200 amu	200 amu	300 amu	300 amu
檢測器類型		FC	FC/EM	FC	FC/EM	FC	FC/EM
靈敏度 (FC)		6E-4 A/Torr	6E-4 A/Torr	5E-4 A/Torr	5E-4 A/Torr	4E-4 A/Torr	4E-4 A/Torr
靈敏度 (EM)		NA	500 A/Torr	NA	500 A/Torr	NA	250 A/Torr
最小可檢測分壓		3E-13 Torr	2E-15 Torr	4E-13 Torr	3E-15 Torr	5E-13 Torr	4E-15 Torr
傳感器工作溫度(FC)		200°C	200°C	200°C	200°C	200°C	200°C
傳感器工作溫度(EM)		NA	150°C	NA	150°C	NA	150°C
絲極類型選件 (1)		Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir
絲極類型選件 (2)		Tungsten	Tungsten	Tungsten	Tungsten	Tungsten	Tungsten
分辨率（整個質(zhì)量范圍內(nèi)）		<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)
溫度系數(shù)		<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C
每點數(shù)據(jù)率		1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms
零沖擊（@ 質(zhì)量 2）		<5 ppm	<5 ppm	<65 ppm	<65 ppm	<100 ppm	<100 ppm
工作壓力		5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr
烘烤溫度	°C°F	300	300	300	300	300	300
功率輸入		20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC

(1) 用于普通應(yīng)用

(2) 用于鹵素環(huán)境應(yīng)用

(3) 位于峰值高度的 10%

關(guān)鍵詞：氣體分析儀過程控制標(biāo)準(zhǔn)

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
光聲光譜煤礦自燃發(fā)火束管監(jiān)測系統(tǒng)	￥400000	北京市	北京杜克泰克科技有限公司	2026-10-12	在線詢價
天然氣沼氣中甲烷含量用激光CH4甲烷分析儀	￥12000	西安市	西安諾科儀器有限責(zé)任公司	2026-10-12	在線詢價
逸云天供應(yīng)高濃度硫化氫檢測儀	￥180	深圳市	深圳市逸云天電子有限公司	2026-10-10	在線詢價
高壓組合電器配電室六氟化硫環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)	面議	常州市	常州通慧智能科技有限公司	2026-10-09	在線詢價
有毒氣體檢測儀	￥1600	濰坊市	山東恒測環(huán)境科技有限公司	2026-10-09	在線詢價
多參數(shù)分析儀	面議	上海市	上海博取儀器有限公司	2026-10-06	在線詢價

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