基本技術(shù)參數(shù):
基座尺寸 (W x H): 750 x 600mm
基座材料: 花崗巖
重量: 240kg, 250kg (高立柱型)
電源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 500W (主機(jī))
輪廓測(cè)量技術(shù)參數(shù):
X1 軸
　測(cè)量范圍: 200mm
　分辨率: 0.05μm
　檢測(cè)方法: 反射型線(xiàn)性編碼器
　驅(qū)動(dòng)速度: 200mm/s 
0 - 60mm/s (操縱桿)
　測(cè)量速度: 0.02 - 2mm/s
　移動(dòng)方向: 向前／向后
　直線(xiàn)度: 2μm/200mm
* 以X 軸為水平方向上
　指示精度: ±(1+0.02L)μm,
　 (20° C 時(shí)) * L 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm)
a 軸
　傾角: -45° 至 +10°
　分辨率: 0.000225°
　旋轉(zhuǎn)速度: 1rpm
Z2 軸 (立柱)
　垂直移動(dòng): 300mm 或 500mm
　分辨率: 0.05μm
　檢測(cè)方法: 反射型線(xiàn)性編碼器
　驅(qū)動(dòng)速度: 200mm/s 
0 - 60mm/s (操縱桿)
Z1 軸 (檢測(cè)器)
　測(cè)量范圍: ±25mm
　分辨率: 0.2μm (SV-C3100CNC),
0.05μm (SV-C4100CNC)
　檢測(cè)方法: 線(xiàn)性編碼器 (SV-C3100CNC),
激光全息測(cè)微計(jì) (SV-C4100CNC)
　直線(xiàn)位移: ± (3+I2HI/25)μm (SV-C3100CNC)
精度 (20° C 時(shí)) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4100CNC)
*H 為基于水平位置的測(cè)量高度 (mm)
　測(cè)針上／下運(yùn)作: 弧形移動(dòng)
　測(cè)針?lè)较?/span>: 向下
　測(cè)力: 30mN
　跟蹤角度: 向上: 70° , 向下: 70°
(根據(jù)表面粗糙度，
使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針)
測(cè)針針尖 ***半徑: 25μm、硬質(zhì)合金***
表面粗糙度測(cè)量的技術(shù)參數(shù)：
X1 軸
　測(cè)量范圍: 200mm
　分辨率: 0.05μm
　檢測(cè)方法: 反射型線(xiàn)性編碼器
　驅(qū)動(dòng)速度: 200mm/s
0 - 60mm/s (操縱桿)
　測(cè)量速度: 0.02 - 2mm/s
　移動(dòng)方向: 向后
直線(xiàn)度: 0.5μm / 200mm
a 軸
　傾角: -45° 至 +10°
　分辨率: 0.000225°
　旋轉(zhuǎn)速度: 1rpm
Z2 軸 (立柱)
　垂直移動(dòng): 300mm 或 500mm
　分辨率: 0.05μm
　檢測(cè)方法: 反射型線(xiàn)性編碼器
　驅(qū)動(dòng)速度: 200mm/s 
0 - 60mm/s (操縱桿)
檢測(cè)器 (選件)
　范圍／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用測(cè)頭選件
時(shí)，可達(dá)2400μm)
　檢測(cè)方法: 無(wú)軌／有軌測(cè)量
　測(cè)力: 4mN 或 0.75mN (低測(cè)力型)
　測(cè)針針尖: 金剛石、90o / 5μmR
(60o / 2μmR: 低測(cè)力型)
　導(dǎo)頭曲率半徑: 40mm
　檢測(cè)方法: 差動(dòng)電感式

選件
防震臺(tái)架
防震臺(tái)裝置: 膜片空氣彈簧
自然頻率 : 2.5 - 3.5Hz
減震機(jī)構(gòu): 阻尼孔
調(diào)水平裝置: 帶機(jī)械閥的自動(dòng)控制裝置
氣源氣壓: 0.4Mpa
承載: 350kg
尺寸(W x D x H): 1000 x 895 x 715mm
重量: 280kg
Y 軸工作臺(tái)裝置
測(cè)量范圍: 200mm
讀數(shù) : 0.05μm
標(biāo)尺裝置: 反射型線(xiàn)性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 200mm/s
0 - 60mm/s (操縱桿)
承載能能力小于: 20 kg
直線(xiàn)度: 0.5μm / 200mm
指示精度 (20° C 時(shí)):
± (2+2L/100)μm，輪廓模式
L 為兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)之間的距離 (mm)
工作臺(tái)尺寸: 200 x 200mm
尺寸(W x D x H): 320 x 646 x 105mm
重量: 35kg

本機(jī)內(nèi)置Startup 系統(tǒng) (重新定位檢測(cè)系統(tǒng))：
意外震動(dòng)發(fā)生或機(jī)器被重新定位時(shí)，將停機(jī)。
初始安裝本機(jī)、重新定位本機(jī)前，務(wù)必就近聯(lián)系我們
*產(chǎn)品信息僅供參考，型號(hào)和技術(shù)參數(shù)生產(chǎn)廠(chǎng)家有可能隨時(shí)更改