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12英寸大面積專用離子減薄儀(MU700)

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2026-06-02
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量99
  • 人氣值4141
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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事高性能薄膜沉積及處理設(shè)備、光電材料、光學(xué)軟件等產(chǎn)品進(jìn)口的技術(shù)貿(mào)易服務(wù)型公司,公司至今已與歐美、日本等國家的十余家企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作關(guān)系;目前服務(wù)于國內(nèi)從事微電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域的研究所和大學(xué)。主要產(chǎn)品包括:濺射、蒸發(fā)鍍膜儀、離子減薄儀、刻蝕機(jī)、等離子處理設(shè)備、CVD金剛石沉積設(shè)備、激光輔助化學(xué)束沉積設(shè)備,紅外窗口材料、各種功能CVD金剛石產(chǎn)品,光學(xué)設(shè)計、激光仿真、BSDF/BRDF測量儀、電磁場模擬仿真及測量儀器等模擬設(shè)計軟件等。

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關(guān)鍵詞:RIE、RIBE、反應(yīng)離子束刻蝕、CAIEB、化學(xué)輔助離子束刻蝕、過渡金屬、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT型號:MU700S;產(chǎn)地:歐洲
12英寸大面積專用離子減薄儀(MU700) 產(chǎn)品詳情

關(guān)鍵詞:RIE、RIBE、反應(yīng)離子束刻蝕、CAIEB、化學(xué)輔助離子束刻蝕、

                過渡金屬、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT

 

型號:MU700S;    產(chǎn)地:歐洲;  

應(yīng)用:過渡金屬, PZT, 磁性材料(MRAM, GMR, TMR), Pt, Cu, TeGe 等;

 

代表性用戶:法國科學(xué)研究中心(CNRS)、意法半導(dǎo)體(ST)

 

RFICP源:束徑可達(dá) 220 mm

 

采用分子泵或低溫泵+干泵組合真空系統(tǒng)

 

均勻性:+/- 5%  on 290 mm襯底

 

水冷樣品臺,襯底尺寸可達(dá)直徑300mm

 

樣品臺可以傾斜和旋轉(zhuǎn)

 

配套SIMS用于刻蝕監(jiān)控

 

配置Load Lock

 

控制系統(tǒng):全自動控制,半自動和手動模式可用
              支持多級用戶權(quán)限設(shè)置和管理
              支持設(shè)備遠(yuǎn)程操作、監(jiān)控、診斷和維護(hù)
              系統(tǒng)自動報警及定位故障

 

關(guān)鍵詞:控制系統(tǒng)
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