您是否還在被“材質(zhì)適配窄、精度不穩(wěn)定、粗糙度與輪廓度需分機測量、批量檢測效率低"問題困擾？中圖儀器白光干涉儀（SuperViewW系列）高精度、高效率、高適配、低運維，搭配全場景適配、自動化高效操作，在半導(dǎo)體、3C電子、光學(xué)加工等精密制造領(lǐng)域中解決“測量數(shù)據(jù)不可重復(fù)"“微觀粗糙度檢測精度不足"等測量難題。

一、解決哪些測量痛點？

二、有哪些產(chǎn)品優(yōu)勢？

1.高重復(fù)精度，數(shù)據(jù)可靠可追溯

粗糙度RMS重復(fù)性低至0.005nm，形貌重復(fù)性達0.1nm，臺階測量準(zhǔn)確度僅0.3%，符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)?；诎坠飧缮婕夹g(shù)與復(fù)合型EPSI重建算法，連續(xù)10次測量Sa=0.2nm硅晶片，數(shù)據(jù)偏差＜0.001nm，為工藝優(yōu)化、產(chǎn)品質(zhì)檢提供可信的量化依據(jù)，某半導(dǎo)體企業(yè)應(yīng)用后，因測量誤差導(dǎo)致的返工率降低15%。

2.高速掃描+自動化，提高效率降低成本

W1-Ultra型號在0.1nm分辨率下掃描速度高達8μm/s，是傳統(tǒng)設(shè)備的4倍以上；支持單/多區(qū)域一鍵測量、陣列式批量檢測，搭配編程預(yù)設(shè)流程，實現(xiàn)無人值守自動化操作。

3.全場景適配，無需頻繁換設(shè)備

單一掃描模式覆蓋超光滑到粗糙、鏡面到全透明/黑色材質(zhì)，10mm Z向掃描范圍搭配方形、圓形、螺旋式自動拼接功能，支持數(shù)千張圖像無縫拼接。無論是半導(dǎo)體研磨減薄件、3C金屬殼模具，還是光學(xué)納米臺階元件，均可精準(zhǔn)測量，滿足多品類生產(chǎn)企業(yè)一臺設(shè)備搞定全場景的需求。

4.穩(wěn)定防護雙保障，降低運維成本

氣浮式隔振底座隔絕地面振動干擾，0.1nm分辨率環(huán)境噪聲評價功能實時監(jiān)控干擾源；雙重鏡頭防撞保護（軟件ZSTOP+彈簧回縮結(jié)構(gòu)）+光源無人值守自動熄燈設(shè)計，設(shè)備年損耗率降低至2%以下，光源使用壽命延長3年。

三、行業(yè)應(yīng)用

1.半導(dǎo)體制造及封裝：精準(zhǔn)測量硅晶片研磨減薄后的表面粗糙度、光刻槽道形貌，某頭部半導(dǎo)體企業(yè)應(yīng)用后，工藝良率提升8%，檢測數(shù)據(jù)與國際標(biāo)準(zhǔn)樣塊偏差＜0.1%。

2.3C電子：適配手機玻璃屏粗糙度檢測、金屬殼模具瑕疵識別、油墨屏高度差測量，批量檢測無需重復(fù)調(diào)試，報表自動導(dǎo)出（Word/Excel/PDF），滿足企業(yè)質(zhì)檢標(biāo)準(zhǔn)化需求。

3.光學(xué)加工：針對納米臺階、光學(xué)元件表面粗糙度測量，實現(xiàn)916.5nm臺階高度精準(zhǔn)量化，助力某光學(xué)廠商降低產(chǎn)品返工率12%。

4.汽車零部件與MEMS器件：檢測精密齒輪磨損情況、軸承孔隙間隙，在復(fù)雜車間環(huán)境中保持數(shù)據(jù)穩(wěn)定，某車企將零部件質(zhì)檢周期從1.5小時縮短至40分鐘。

四、合作邀約

SuperView W中圖儀器白光干涉儀助力企業(yè)提升質(zhì)檢效率、降低成本、保障產(chǎn)品品質(zhì)。現(xiàn)面向全國制造企業(yè)、檢測機構(gòu)、科研單位開放合作，提供定制化測量解決方案與專業(yè)技術(shù)支持。

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