FPANG-SE200BA-MSP 反射式光譜橢偏儀

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型號FPANG-SE200BA-MSP
品牌
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更新時間2021-08-19

孚光精儀（中國）有限公司

廠商性質經銷商
所在地區(qū)
實名認證已認證
產品數量1482
人氣值21411

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這款反射式光譜橢偏儀MSP具有250-1000nm的波長范圍，可與顯微分光光度計聯合使用，測量極小斑點的薄膜厚度和折射率，可廣泛用于MEMS，半導體晶圓等領域,是反射光譜橢偏儀品牌中光譜橢偏儀價格較低的橢偏儀

反射式光譜橢偏儀產品詳情

這款反射式光譜橢偏儀MSP具有250-1000nm的波長范圍，可與顯微分光光度計聯合使用，測量極小斑點的薄膜厚度和折射率，可廣泛用于MEMS，半導體晶圓等領域,是反射光譜橢偏儀品牌中光譜橢偏儀價格較低的橢偏儀。

spectroscopic ellipsometer,從深紫外到可見光再到近紅外.深紫外波長非常適合測量超薄薄膜，比如納米厚度薄膜厚度，比如硅晶圓的薄膜厚度，典型值在2nm左右。對于測量許多材料的帶隙，深紫外光譜橢偏儀也非常重要。
橢圓偏振技術是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術。
與反射計或反射光譜技術不同的是，光譜橢偏儀參數Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變入射角大小，可獲得許多組數據，這樣就非常有助于優(yōu)化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠遠大于固定角橢偏儀。
改變橢偏儀入射角的方法有兩種，一種是手動調節(jié)，一種是自動調節(jié)入射角，我們可提供兩種模式的橢偏儀。

反射式光譜橢偏儀MSP特色
易于安裝，拆卸和維護
*的光學設計
自動改變入射角，入射角分辨率高達0.01度
高功率250-1100nm光源適合多種應用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學常數數據庫
提供工程師模式，服務模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設置和光學模型測量
一鍵快速測量
全自動標定和初始化
精密樣品準直界面直接樣品準直，不需要額外光學
精密高度和傾斜調整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數據顯示輸出

反射式光譜橢偏儀MSP參數
波長范圍：250-1000nm，與顯微分光光度計聯合使用時400-850nm
波長分辨率：~1nm
測量點大?。?-5mm可調
入射角：10-90度可調
入射角分辨率：0.01度
數字成像：130萬像素
有效放大倍數：1200X
物鏡工作距離：12mm
顯微分光光度計光束大?。?10-500微米可調
可測樣品大?。焊哌_300mm 直徑
可測樣品厚度：高達20mm
測量薄膜厚度：0nm ---10um
測量時間：~1s/點
精度：~0.25%
重復精度：<1A
反射式光譜橢偏儀MSP可選配件
反射或透射光度測量配件
微點測量小面積
X-Y位移臺用于厚度繪圖
加熱臺/制冷臺用于薄膜動力學研究
垂直樣品安裝測角計
波長拓寬到IR范圍
掃描單色儀配置

關鍵詞：橢偏儀光度計單色儀

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產品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
分光橢偏儀SEMILAB在線光譜橢偏儀SE-3000	￥39000	重慶市	重慶津澤機電科技有限公司	2023-03-27	在線詢價

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