Zeta-388 白光共聚焦Zeta-388支持3D量測和成像功能，并提供整合隔離工作臺(tái)和晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量。該系統(tǒng)采用ZDot™技術(shù)，可同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。Zeta-388具備Multi-Mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡單易用的軟件、低擁有成本，以及SECS / GEM通信，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

產(chǎn)品描述Zeta-388 白光共聚焦

    Zeta-388光學(xué)輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。 Zeta-388繼承了Zeta-300的功能，并增加了晶圓盒至晶圓盒機(jī)械臂，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量。該系統(tǒng)采用獲得的ZDot™技術(shù)和Multi-Mode (多模式)光學(xué)系統(tǒng)，可以對各種不同的樣品進(jìn)行測量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理，以及納米至毫米級別的臺(tái)階高度。

    Zeta-388的配置靈活并易于使用，并集合了六種不同的光學(xué)量測技術(shù)。ZDot™測量模式可同時(shí)收集高分辨率3D掃描和True Color無限遠(yuǎn)焦距圖像。其他3D測量技術(shù)包括白光干涉測量、Nomarski干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。ZDot或集成寬帶反射計(jì)都可以對薄膜厚度進(jìn)行測量。Zeta-388也是一款顯微鏡，可用于樣品檢查或自動(dòng)缺陷檢測。Zeta-388通過提供全面的臺(tái)階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能，以及晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。