FTS超精密加工壓電定位平臺采用了無空行程的金屬彈性變形機構(gòu),以及5-6 倍的壓電陶瓷變形放大機構(gòu)。并采用我公司的超精密加工技術(shù)進行生產(chǎn)制造。
FTS超精密加工壓電定位平臺特點:
?采用了*的數(shù)字位移傳感器,可實現(xiàn)高精度·高剛性·高速度的壓電陶瓷平臺。
?采用壓電陶瓷作為驅(qū)動機構(gòu),環(huán)控制時的行程為90μm?100μm,理論分辨率達1nm。和開環(huán)控制相比,閉環(huán)控制時的大行程會少20%左右。
?位置檢測采用了數(shù)字位移傳感器(頻率→數(shù)字變換方式的微小位移傳感器),閉環(huán)控制時的顯示分辨率為10nm。
?使用FINE系列控制器,可實現(xiàn)高速定位。
?重復(fù)驅(qū)動SFS-H(直動)系列平臺,可達10?15Hz的頻率。使用FINE-01γ的 模擬信號驅(qū)動時,可達25Hz。
應(yīng)用:
光纖端面檢測 聚焦顯微成像電化學(xué)加工3D錫膏檢測 精密定位 精密加工光纖對接
指標(biāo)
| 行程(開環(huán)控制時) | 90μm±15% |
| 臺面尺寸 | 40×40mm |
| 驅(qū)動機構(gòu) | 壓電陶瓷 |
| 自重 | 0.28kg |
| 理論分辨率(開環(huán)時) | 1nm |
| 分辨率(閉環(huán)時) | 10nm |
| 直線性誤差 | <0.3% |
| 垂直度(水平方向) | 1μm |
| 重復(fù)定位精度 | <0.1μm |
| 承載能力 | 9.8N(1.0kgf) |
| 微小位移傳感器 | 數(shù)字位移傳感器 |
| 適用電纜 | 電纜(2m)附屬 |
上海納動納米位移技術(shù)有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)集精密機械、精密驅(qū)動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*,專注于超精密納米級定位及運動控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā),并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案,滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。
上海納動納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉(zhuǎn)臺、納米級光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。






























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