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PFV3D70-600U-S 高精度壓電物鏡掃描臺(tái) 光學(xué)表面分析儀

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  • 型號(hào)PFV3D70-600U-S
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時(shí)間2025-11-13
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量160
  • 人氣值55111
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高精度壓電物鏡掃描臺(tái)采用壓電陶瓷直推,以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使物鏡掃描臺(tái)具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無(wú)機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn),采用硅位移傳感器,物鏡掃描臺(tái)相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器,物鏡掃描臺(tái)硅傳感器使平移臺(tái)擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。物鏡掃描臺(tái)的精度可以達(dá)到亞納米,底噪低至10pm。
高精度壓電物鏡掃描臺(tái) 光學(xué)表面分析儀 產(chǎn)品詳情

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  高精度壓電物鏡掃描臺(tái)采用壓電陶瓷直推,以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使物鏡掃描臺(tái)具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無(wú)機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn),采用硅位移傳感器,物鏡掃描臺(tái)相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器,物鏡掃描臺(tái)硅傳感器使平移臺(tái)擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。物鏡掃描臺(tái)的精度可以達(dá)到亞納米,底噪低至10pm。

高精度壓電物鏡掃描臺(tái)主要應(yīng)用
l  自動(dòng)聚焦系統(tǒng)
l  共焦顯微鏡
l  3D成像
l  超分辨顯微鏡
l  半導(dǎo)體計(jì)量學(xué)

產(chǎn)品特點(diǎn)
l  高分辨率(0.01nm)
l  高速度,自振頻率可達(dá)1175Hz
l  采用硅傳感技術(shù)
l  超低底噪
l  柔性鉸鏈導(dǎo)向

技術(shù)參數(shù):

型號(hào)PMS
尺寸大小/mm295(長(zhǎng))*260(寬)*32.5(高)
電機(jī)類型直流電機(jī)
zui高精度/μm0.1
重復(fù)定位精度/μm1
zui大速度/mm/s1000
zui大加速度/m/s^21(低速下可達(dá)100)
zui大負(fù)載/kg5
zui大行程/mm150(X)100(Y)
關(guān)鍵詞:位移傳感器 顯微鏡
熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價(jià)地區(qū)公司名稱更新時(shí)間 
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