芯明天直驅(qū)機構(gòu)式壓電掃描臺P77系列壓電掃描臺為一維Z軸運動平臺，壓電平臺中心為106mm大通光孔，壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可以實現(xiàn)Z 軸20μm的位移行程，無摩擦柔性導向機構(gòu)具有超高的分辨率，閉環(huán)版本定位精度可達納米級，是光學移相器的選擇。

P73.Z500系列壓電物鏡定位器為大行程壓電物鏡定位器，Z軸直線運動范圍可達550μm，采用柔性鉸鏈設計機構(gòu)，無摩擦、運動直 線性好且閉環(huán)型號定位精度高。分離式螺紋適配器設計，可適配多種型號的顯微鏡，廣泛應用于大范圍顯微成像、雙光子顯微鏡等領(lǐng)域。