ALICAT PCD 系列雙閥壓力控制器，是專為密閉腔體 / 死容積（Closed Volume）開發(fā)的電子壓力控制器，集成進(jìn)氣比例閥 + 排氣比例閥雙獨(dú)立閥門，區(qū)別于普通單閥 PC 系列，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)升壓、降壓閉環(huán)控制，無(wú)需額外外接泄壓閥，是真空、微流體、半導(dǎo)體、科研測(cè)試主流設(shè)備。

型號(hào)后綴說(shuō)明：

PCD：標(biāo)準(zhǔn)雙閥壓力控制器（表壓 / 絕壓）

PCD?PSID：雙閥差壓控制器

PCD3 / PCRD3：帶遠(yuǎn)程傳感 Remote Sense版本，可外接壓力采樣點(diǎn)，遠(yuǎn)離控制器本體測(cè)量腔體壓力Premier Co...

38 系列：高壓大流量雙閥型號(hào)；93 系列：OEM 緊湊型雙閥版本

一、工作原理

雙閥結(jié)構(gòu)：進(jìn)氣閥（Supply）+ 排氣閥（Vent），共用同一個(gè)過(guò)程端口連接密閉腔體。

需要升壓：打開進(jìn)氣閥，排氣閥關(guān)閉，向腔體充氣，提升壓力至設(shè)定點(diǎn)；

需要降壓：關(guān)閉進(jìn)氣閥，打開排氣閥，向外排放氣體，降低腔體壓力；

穩(wěn)態(tài)維持：高速 PID 算法毫秒級(jí)切換閥門，不會(huì)兩個(gè)閥門同時(shí)常開，避免持續(xù)放空浪費(fèi)昂貴工藝氣體；

內(nèi)置高精度壓力傳感器閉環(huán)采樣；選配遠(yuǎn)程傳感時(shí)，傳感器采集點(diǎn)直接接被測(cè)腔體，消除管路壓降帶來(lái)的控制誤差。

??適用場(chǎng)景核心前提：密閉 / 死容積系統(tǒng)；不適合連續(xù)流動(dòng)的管路壓力控制（流動(dòng)系統(tǒng)優(yōu)先選單閥 PC 背壓 / 前壓控制器）

二、核心性能參數(shù)

表格

項(xiàng)目參數(shù)

壓力類型絕壓 PSIA、表壓 PSIG、差壓 PSID

量程范圍0.07?3000PSI（約 0.5kPa?207bar）；真空可達(dá) 10Torr

標(biāo)準(zhǔn)精度±0.25% FS；高精度選型：±0.125% FS (NIST 可溯源)

重復(fù)性±0.08%FS

量程比（調(diào)節(jié)比）200:1，0.5%?100% 滿量程可控

響應(yīng)時(shí)間50?100ms 到達(dá)設(shè)定值

介質(zhì)非腐蝕性干燥氣體；腐蝕工況選 IS?Pro 雙閥系列

接口標(biāo)準(zhǔn) 1/8"NPT 內(nèi)螺紋；可定制

顯示LCD 按鍵，可選彩色 TFT 顯示屏

三、通訊接口

標(biāo)準(zhǔn)：RS232；可選 RS485 Modbus?RTU、Modbus?TCP、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus?DP、DeviceNet

模擬信號(hào)：0?5V / 0?10V / 4?20mA（設(shè)定點(diǎn)輸入 + 壓力輸出）

支持 ASCII 指令讀寫設(shè)定、實(shí)時(shí)壓力、閥門狀態(tài)、單位切換（kPa、mbar、Torr、PSI 等）

四、產(chǎn)品核心優(yōu)勢(shì)

密閉腔體雙向控制：既可充氣升壓，又可主動(dòng)泄壓降壓，單閥控制器做不到快速降壓；

節(jié)約氣體：排氣閥僅超壓瞬間打開，穩(wěn)態(tài)幾乎不放空，稀有 / 昂貴工藝氣體大幅降低損耗；

遠(yuǎn)程傳感（PCD3）：傳感器采樣點(diǎn)布置在被測(cè)腔，控制器本體放外部，解決高溫、狹小腔體、大管路壓降問(wèn)題；

無(wú)預(yù)熱時(shí)間，開機(jī)直接工作；NIST 溯源校準(zhǔn)，可用于計(jì)量測(cè)試；

PID 參數(shù)可軟件自定義，適配大小不同腔體體積，小腔體、大腔體均可調(diào)優(yōu)控制穩(wěn)定性Premier Co...。

五、典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體：腔體壓力控制、泄漏測(cè)試、晶圓工藝腔；

科研實(shí)驗(yàn)室：微流控、芯片壓力測(cè)試、真空腔體壓力調(diào)節(jié)；

生物制藥：一次性生物反應(yīng)袋充氣壓力控制；

航空航天零部件壓力、閥門性能測(cè)試；

材料測(cè)試、氣密性檢測(cè)、電池研發(fā)測(cè)試；

流式細(xì)胞儀、流體點(diǎn)膠設(shè)備（OEM?93）Alicat Sci...。

六、選型關(guān)鍵要點(diǎn)

確認(rèn)腔體容積大?。呵惑w體積決定閥門選型，大腔體需要選大流量 PCRD 版本；

壓力類型：絕壓 / 表壓 / 差壓，確定量程；

是否需要遠(yuǎn)程傳感：腔體離控制器遠(yuǎn)、管路長(zhǎng)、腔體高溫，必須選 PCD3；

介質(zhì)腐蝕性：腐蝕氣體選 IS?Pro 雙閥；普通氣體選 PCD；

通訊協(xié)議：匹配 PLC（EtherCAT、Modbus 等）；

入口供氣壓力：供氣壓力必須高于目標(biāo)控制壓力。

七、PCD 雙閥 vs PC 單閥控制器

表格

對(duì)比項(xiàng)PCD 雙閥PC 單閥 PC

閥門進(jìn)氣 + 排氣雙閥單閥

適用系統(tǒng)密閉死腔連續(xù)流動(dòng)管路

降壓能力主動(dòng)快速泄壓只能被動(dòng)泄漏降壓，降壓慢

氣體消耗低，僅超壓短時(shí)排氣持續(xù)放空，耗氣大

典型用途腔體、真空腔管路壓力、背壓控制