保持真空

英?？稻_的泄漏檢測方案可確保對半導體工藝至關(guān)重要的真空條件的完整性。即使是極微小的泄漏，也可加以識別和修復，以確保 dute的半導體特性。

保持潔凈室條件

使用示蹤氣體進行泄漏檢測，可有效防止顆粒和污染物的進入，維護半導體潔凈室嚴格的潔凈度標準。

定位復雜泄漏

英?？档男孤z測技術(shù)，包括示蹤氣體的使用，可有效識別定位不同配置的復雜半導體設備中的各種泄漏。

捕捉微小泄漏，保持產(chǎn)品品質(zhì)

精確、高靈敏度的泄漏檢測方案可確保識別極微小的泄漏，以保持半導體制造工藝所需的純度，防止缺陷和確保產(chǎn)品質(zhì)量。

材料兼容性

英?？档男孤z測方案與半導體材料兼容，可確保不會損壞或改變半導體制造中所用材料的性能。

快速檢測泄漏，實現(xiàn)高產(chǎn)能

英?？堤峁┑目煽啃孤z測系統(tǒng)能夠以極快的速度獲得可靠的結(jié)果，從而提高半導體制造的產(chǎn)能?？焖僮R別和解決泄漏問題也是最大限度減少停機時間，確保生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。

與自動化系統(tǒng)集成

英?？档男孤z測方案可與自動化系統(tǒng)無縫集成，實現(xiàn)持續(xù)監(jiān)控和即時泄漏響應，并有助于提高半導體自動化制造過程的整體設備效率 (OEE)。

經(jīng)濟高效的解決方案

英?？抵铝τ陂_發(fā)經(jīng)濟高效的泄漏檢測解決方案，在準確性和成本之間取得平衡。

UL6000 Fab

UL3000 Fab

UL1000 Fab