抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個(gè)惠斯通電橋(閉橋),由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng),使電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性、與激勵(lì)電壓也成正比的電壓信號(hào),標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等,可以和應(yīng)變式傳感器相兼容。通過激光標(biāo)定,
傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性,傳感器自帶溫度補(bǔ)償0 ~70℃,并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。
陶瓷是一種*的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動(dòng)的材料。陶瓷的熱穩(wěn)定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達(dá)-40 ~135 ℃,而且具有測(cè)量的高精度、高穩(wěn)定性。電氣絕緣程度>2kV,輸出信號(hào)強(qiáng),長(zhǎng)期穩(wěn)定性好。高特性,低價(jià)格的陶瓷傳感器將是DX100P齊平膜壓力傳感器的發(fā)展方向,在歐美國家有全面替代其它類型傳感器的趨勢(shì),在中國也越來越多的用戶使用陶瓷傳感器替代擴(kuò)散硅壓力傳感器。PT500-501/502/503/504壓力傳感器/變送器采用全不銹鋼封焊結(jié)構(gòu),具有良好的防潮能力及優(yōu)異的介質(zhì)兼容性。廣泛用于工業(yè)設(shè)備、水利、化工、醫(yī)療、電力、空調(diào)、金剛石壓機(jī)、冶金、車輛制動(dòng)、樓宇供水等壓力測(cè)量與控制。
厚膜壓力傳感器是繼擴(kuò)散硅壓力傳感器之后壓力傳感器的又一次重大的技術(shù)創(chuàng)新,而力敏Z-元件是目前國內(nèi)外*具有數(shù)字信號(hào)輸出的敏感元件,因此陶瓷厚膜工藝與力敏Z-元件的zui簡(jiǎn)單電路的巧妙結(jié)合,可以出現(xiàn)一種性能優(yōu)異、成本低廉的新型傳感器。具體來說,陶瓷厚膜工藝有下述優(yōu)點(diǎn): 厚膜電阻(包括高溫導(dǎo)線)能與陶瓷彈性膜片牢固地?zé)Y(jié)在一起,不需用膠進(jìn)行粘貼。這種剛性結(jié)構(gòu)蠕變小,漂移小,靜態(tài)性能穩(wěn)定,動(dòng)態(tài)性能好。 陶瓷彈性體性能優(yōu)良,平整、均勻、質(zhì)密的材料在程度范圍內(nèi)都嚴(yán)格遵循虎克定律,無塑性變形。厚膜彈性體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于制備。它與擴(kuò)散硅壓力傳感器相比,不需半導(dǎo)體平面工藝來形成擴(kuò)散電阻彈性膜片,大幅度減小了生產(chǎn)線的前期投入和工藝加工成本。
陶瓷厚膜壓力傳感器結(jié)構(gòu)耐液體或氣體介質(zhì)的腐蝕,不需通過不銹鋼膜片和硅油的轉(zhuǎn)換與隔離,封裝結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化,進(jìn)一步降低成本。 工作溫度范圍寬, 可達(dá)-40℃~120℃。工作量程寬。量程決定于膜片的有效半徑與厚度之比,只要微壓力不小于1Kpa,原則上較高的量程也易于實(shí)現(xiàn)。