P36中空式壓電偏轉掃描鏡

（具有Φ10mm通光孔）

 

P36中空式壓電偏轉鏡的中心具有直徑10mm的通光孔徑，是專為光的透射（例如，光過濾）及反射應用而設計。作為壓電偏轉鏡，它既可產生偏轉運動又可產生直線運動，對光束的偏轉范圍可達1.6mrad；作為移相器，它的直線運動范圍可達12µm，也適于調節(jié)光的路徑長度。響應速度快，可達亞毫秒。

 

特點:

用于掃描、光學對準及鏡子移動裝置對準；

Φ10mm中心通光孔；

壓電三腳設計；

光束偏轉可達1.6mrad；

活塞運動可達12μm（移相器）；

亞毫秒響應，亞微弧度分辨率；

閉環(huán)版本具有更高精度；

用于光學、鏡片或其他部件；

無摩擦，高精度撓曲導向系統(tǒng)；

平行運動學擴展動態(tài)性及更好的多軸精度。

 

應用案例

圖像處理/穩(wěn)定；

干涉法；

激光掃描/光束偏轉；

激光調諧；

光過濾/開關；

光束穩(wěn)定等。

 

 P36偏轉鏡介紹

 

 

P36多軸俯仰/偏轉平臺及Z向定位臺是基于壓電三腳式設計的快速、緊湊型元件。三腳式設計的特點是在較寬的溫度范圍內具有優(yōu)化的角度穩(wěn)定性。

該壓電偏轉鏡設計可將鏡片或光學元件安裝在任意方向，且中空設計非常適于光過濾等。

P36壓電偏轉鏡的三腳驅動方式，可在較大的溫度范圍內提供*化的角度穩(wěn)定性；體積更小巧；兩軸具有相同的偏轉角度及相同的動態(tài)性能；更快的響應及更好的線性度；同時也防止了偏振旋轉。

內部三支壓電陶瓷促動器是由三通道控制器來分別單獨驅動（用于俯仰/偏轉運動）或者同時并聯驅動（直線升降運動）。

結構示意圖

 

 開環(huán)模式下使用

 

 

        在開環(huán)模式下，俯仰/偏轉角度與施加電壓基本成線性關系。P36開環(huán)型號非常適于高速、高分辨率、且角度定位是次要的（例如跟蹤）或由外部傳感（例如CCD，PSD）提供反饋的應用。

 

 控制及運動方式

 

 

1、開環(huán)Z向平臺控制方式

內部三支壓電直線陶瓷促動器并聯連接，提供頂部環(huán)在垂直方向的定位（活塞運動）。只需一個驅動通道。

2、開環(huán)Z向/俯仰/偏轉定位器控制方式

內部三支壓電直線陶瓷促動器由一個三通道壓電放大器分別單獨驅動（或并聯）。可實現垂直（活塞運動）定位及俯仰/偏轉定位。

 

高可靠性及長壽命

 

 

緊湊的P36系統(tǒng)配備加有預緊力的高性能壓電促動器，集成到一個成熟的、通過FEA建模分析的、彎曲導向系統(tǒng)。內部壓電促動器為共燒型壓電陶瓷，提供非常好的性能及可靠性。

 

可配備鏡片轉接座

 

 

P36壓電偏轉鏡/移相器可選擇配套鏡片轉接座，以方便鏡片的安裝與固定，如下圖所示。

  頻率負載曲線

 

 

P36壓電偏轉鏡的使用頻率與振動幅度、負載情況、安裝方式等條件有關。下圖為P36隨負載的增加諧振頻率的變化曲線。

 

P36基本技術參數

 

 

 

型號，開環(huán)-K	移相器	偏轉鏡	單位
	P36.Z1K	P36.ZT1K
運動自由度	Z	Z、θx、θy
運動和定位
zui大偏轉角度 θx、θy	-	800	μrad±20%
Z向zui大行程	12	12	µm±20%
偏轉分辨率	-	0.02	µrad，typ.
直線分辨率	0.1	0.1	nm，typ.
機械性能
空載諧頻	7.5	7.5	kHz±20%
空載工作頻率 10%行程	2000	1500	Hz±20%
空載工作頻率 行程	200	150	Hz±20%
階躍時間(響應時間)	0.5	0.5	ms±20%
驅動性能
靜電容量	0.4	0.4	μF/軸±20%
其他
工作溫度范圍	-20~80		°C
外形尺寸（直徑-內徑/高）	20-10/19.5		mm

注：超低溫版本、超高真空版本及連接器等參數可定制。

 

 P36驅動與控制

 

 

光束偏轉角度為機械偏轉角度的兩倍。為了達到zui大偏轉角度，內部三支陶瓷促動器需要有偏置電壓75V。而由于平行運動學設計，直線行程和偏轉行程都是獨立的。

以下為推薦配套使用的壓電控制器及簡單參數。

E01	E53.A	E70
3路輸出 模擬、上位機通信、旋鈕 開環(huán)閉環(huán) 平均功率7W	1路輸出 模擬輸入 開環(huán) 平均功率10W	3路輸出 模擬與數字控制 開環(huán)閉環(huán) 平均功率5W/通道

（具有Φ10mm通光孔）

 

P36中空式壓電偏轉鏡的中心具有直徑10mm的通光孔徑，是專為光的透射（例如，光過濾）及反射應用而設計。作為壓電偏轉鏡，它既可產生偏轉運動又可產生直線運動，對光束的偏轉范圍可達1.6mrad；作為移相器，它的直線運動范圍可達12µm，也適于調節(jié)光的路徑長度。響應速度快，可達亞毫秒。

 

特點:

用于掃描、光學對準及鏡子移動裝置對準；

Φ10mm中心通光孔；

壓電三腳設計；

光束偏轉可達1.6mrad；

活塞運動可達12μm（移相器）；

亞毫秒響應，亞微弧度分辨率；

閉環(huán)版本具有更高精度；

用于光學、鏡片或其他部件；

無摩擦，高精度撓曲導向系統(tǒng)；

平行運動學擴展動態(tài)性及更好的多軸精度。

 

應用案例

圖像處理/穩(wěn)定；

干涉法；

激光掃描/光束偏轉；

激光調諧；

光過濾/開關；

光束穩(wěn)定等。

 

 P36偏轉鏡介紹

 

 

P36多軸俯仰/偏轉平臺及Z向定位臺是基于壓電三腳式設計的快速、緊湊型元件。三腳式設計的特點是在較寬的溫度范圍內具有優(yōu)化的角度穩(wěn)定性。

該壓電偏轉鏡設計可將鏡片或光學元件安裝在任意方向，且中空設計非常適于光過濾等。

P36壓電偏轉鏡的三腳驅動方式，可在較大的溫度范圍內提供*化的角度穩(wěn)定性；體積更小巧；兩軸具有相同的偏轉角度及相同的動態(tài)性能；更快的響應及更好的線性度；同時也防止了偏振旋轉。

內部三支壓電陶瓷促動器是由三通道控制器來分別單獨驅動（用于俯仰/偏轉運動）或者同時并聯驅動（直線升降運動）。

結構示意圖

 

 開環(huán)模式下使用

 

 

        在開環(huán)模式下，俯仰/偏轉角度與施加電壓基本成線性關系。P36開環(huán)型號非常適于高速、高分辨率、且角度定位是次要的（例如跟蹤）或由外部傳感（例如CCD，PSD）提供反饋的應用。

 

 控制及運動方式

 

 

1、開環(huán)Z向平臺控制方式

內部三支壓電直線陶瓷促動器并聯連接，提供頂部環(huán)在垂直方向的定位（活塞運動）。只需一個驅動通道。

2、開環(huán)Z向/俯仰/偏轉定位器控制方式

內部三支壓電直線陶瓷促動器由一個三通道壓電放大器分別單獨驅動（或并聯）?？蓪崿F垂直（活塞運動）定位及俯仰/偏轉定位。

 

高可靠性及長壽命

 

 

緊湊的P36系統(tǒng)配備加有預緊力的高性能壓電促動器，集成到一個成熟的、通過FEA建模分析的、彎曲導向系統(tǒng)。內部壓電促動器為共燒型壓電陶瓷，提供非常好的性能及可靠性。

 

可配備鏡片轉接座

 

 

P36壓電偏轉鏡/移相器可選擇配套鏡片轉接座，以方便鏡片的安裝與固定，如下圖所示。

  頻率負載曲線

 

 

P36壓電偏轉鏡的使用頻率與振動幅度、負載情況、安裝方式等條件有關。下圖為P36隨負載的增加諧振頻率的變化曲線。

 

P36基本技術參數

 

 

 

型號，開環(huán)-K	移相器	偏轉鏡	單位
	P36.Z1K	P36.ZT1K
運動自由度	Z	Z、θx、θy
運動和定位
zui大偏轉角度 θx、θy	-	800	μrad±20%
Z向zui大行程	12	12	µm±20%
偏轉分辨率	-	0.02	µrad，typ.
直線分辨率	0.1	0.1	nm，typ.
機械性能
空載諧頻	7.5	7.5	kHz±20%
空載工作頻率 10%行程	2000	1500	Hz±20%
空載工作頻率 行程	200	150	Hz±20%
階躍時間(響應時間)	0.5	0.5	ms±20%
驅動性能
靜電容量	0.4	0.4	μF/軸±20%
其他
工作溫度范圍	-20~80		°C
外形尺寸（直徑-內徑/高）	20-10/19.5		mm

注：超低溫版本、超高真空版本及連接器等參數可定制。

 

 P36驅動與控制

 

 

光束偏轉角度為機械偏轉角度的兩倍。為了達到zui大偏轉角度，內部三支陶瓷促動器需要有偏置電壓75V。而由于平行運動學設計，直線行程和偏轉行程都是獨立的。

以下為推薦配套使用的壓電控制器及簡單參數。

E01	E53.A	E70
3路輸出 模擬、上位機通信、旋鈕 開環(huán)閉環(huán) 平均功率7W	1路輸出 模擬輸入 開環(huán) 平均功率10W	3路輸出 模擬與數字控制 開環(huán)閉環(huán) 平均功率5W/通道