HAST 加速老化箱是半導體、電子元器件高加速應力試驗核心設備，依靠高溫高壓高濕環(huán)境快速激發(fā)樣品潛在缺陷。做好日常點檢與預防性維護，可保障試驗數(shù)據(jù)穩(wěn)定性，延長設備使用壽命，降低突發(fā)停機風險。

一、日常點檢項目

1. 外觀與密封檢查。查看箱門硅膠密封圈有無開裂、硬化、積水痕跡，確認門鎖扣合緊密，防止高壓蒸汽泄漏；檢查箱體、管路無銹蝕，排水管路通暢無堵塞。

2. 供水系統(tǒng)點檢。確認水箱水位處于標準區(qū)間，水質(zhì)保持潔凈，優(yōu)先使用去離子水；觀察供水泵有無異響，過濾器定期查看是否存在雜質(zhì)淤積。

3. 電氣與儀表檢查。開機前查看電源、接線端子無松動；觸摸屏、壓力傳感器、溫濕度顯示面板數(shù)值正常，無報警代碼，超溫保護裝置狀態(tài)完好。

4. 運行狀態(tài)點檢。設備運行階段壓縮機、風機運轉(zhuǎn)聲音，無異常震動；監(jiān)測腔內(nèi)壓力、溫度、濕度參數(shù)，與設定值無明顯偏差；排氣閥泄壓動作正常。

二、故障預防措施

水源管控是 HAST 設備防護重點。嚴禁使用自來水，水中鈣鎂離子易造成管路、腔體結(jié)垢，腐蝕壓力傳感器與電磁閥，建議定期更換進水過濾器。 每次試驗結(jié)束后，及時清理箱體內(nèi)殘留水汽與樣品碎屑，保持腔體干燥，避免長期高濕環(huán)境引發(fā)金屬腐蝕。定期校驗壓力、溫度傳感器，保證試驗數(shù)據(jù)精準，防止傳感漂移導致過壓、超溫報警。 電氣方面，保持控制柜干燥防塵，避免潮濕氣體侵入電路板；定期緊固接線端子，防止接觸不良引發(fā)通訊故障。 制定周期性維保計劃，除每日點檢外，按月檢查安全閥、排氣閥，按季度對管路除垢。操作人員嚴格按照操作規(guī)程執(zhí)行，禁止超壓、超溫運行，不隨意修改保護參數(shù)。

點檢與預防性維護，能夠大幅減少 HAST 箱壓力異常、溫濕度失控、泄漏等常見故障，保障高加速老化試驗連續(xù)可靠開展。