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一、核心技術(shù)參數(shù)
參數(shù)項目 | 典型規(guī)格 |
溫度范圍 | 105℃~155℃ |
濕度范圍 | 50%~百%RH(非飽和可調(diào)) |
壓力范圍 | 0.02~0.6MPa(表壓) |
溫度均勻度 | ≤±2.0℃ |
溫度波動度 | ≤±0.5℃ |
控制模式 | 無偏壓UHAST/帶偏壓BHAST |
二、選型要點
溫度范圍:根據(jù)產(chǎn)品適用的測試標(biāo)準(zhǔn)確定。JESD22-A110、AEC-Q100等標(biāo)準(zhǔn)對溫度有明確規(guī)定。
濕度控制:非飽和模式支持50%~百%RH可調(diào),避免凝露對樣品的干擾。
壓力控制:高壓環(huán)境提升水蒸氣滲透能力,壓力范圍需覆蓋標(biāo)準(zhǔn)要求。
偏壓模式:如需模擬器件通電工作狀態(tài),需確認(rèn)設(shè)備是否支持帶偏壓BHAST模式。
數(shù)據(jù)記錄:支持溫濕壓全程數(shù)據(jù)記錄與曲線導(dǎo)出,滿足認(rèn)證與審核要求。
三、安全保護(hù)
設(shè)備需配備多重安全保護(hù)機(jī)制,應(yīng)對高壓高溫工況。包括超壓保護(hù)、超溫保護(hù)、門體安全聯(lián)鎖、緊急泄壓裝置等,保障長時間無人值守試驗的安全性。




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