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臺(tái)式塵埃粒子計(jì)數(shù)器:潔凈環(huán)境監(jiān)測的精密利器

來源:山東仁科測控技術(shù)有限公司   2026年10月10日 16:33  

【型號(hào)推薦:仁科臺(tái)式塵埃粒子計(jì)數(shù)器(RS-CALZ-N01),工業(yè)級(jí)品質(zhì),精準(zhǔn)可靠】

在半導(dǎo)體、電子特氣等制造領(lǐng)域,空氣中微小懸浮顆粒物是影響產(chǎn)品良率的關(guān)鍵隱患。微米級(jí)塵埃一旦附著在芯片晶圓、高純電子特氣產(chǎn)品表面,就會(huì)造成電路缺陷、氣體純度下降,帶來巨大經(jīng)濟(jì)損失。臺(tái)式塵埃粒子計(jì)數(shù)器作為專門測量空氣中塵埃顆粒物濃度的精密儀器,是潔凈室日常巡檢、環(huán)境驗(yàn)收與常態(tài)化監(jiān)測的核心設(shè)備。RS-CALZ-N01型臺(tái)式塵埃粒子計(jì)數(shù)器依托激光散射原理,持續(xù)采集空氣樣本,通過光學(xué)感應(yīng)捕捉顆粒物散射信號(hào),計(jì)算單位體積內(nèi)不同粒徑懸浮顆粒物數(shù)量,得到顆粒物濃度分布,自動(dòng)換算質(zhì)量濃度并輸出檢測結(jié)果,為潔凈車間環(huán)境管控提供可靠數(shù)據(jù)支撐。

臺(tái)式塵埃粒子計(jì)數(shù)器搭載六個(gè)獨(dú)立粒徑檢測通道,可同步完成六個(gè)粒徑通道粒子檢測,覆蓋潔凈室最關(guān)注的顆粒物規(guī)格。同時(shí)臺(tái)式塵埃粒子計(jì)數(shù)器支持用戶自定義采樣時(shí)間、采樣間隔、采樣次數(shù),可靈活適配抽檢、連續(xù)監(jiān)測、多點(diǎn)巡檢等不同工作模式,適配千級(jí)至百萬級(jí)跨度極大的潔凈環(huán)境監(jiān)測需求。在人機(jī)交互層面,RS-CALZ-N01配備7寸大屏液晶觸控屏,全部操作都可在觸控界面完成,粒子采集啟停、參數(shù)設(shè)定、時(shí)間日期修改、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)開關(guān)、歷史記錄查詢、現(xiàn)場打印一鍵操作,上手門檻低,一線檢測人員簡單培訓(xùn)即可獨(dú)立操作。臺(tái)式塵埃粒子計(jì)數(shù)器集成溫濕度、大氣壓力同步監(jiān)測模塊,配套超限報(bào)警功能,在統(tǒng)計(jì)粒子數(shù)量的同時(shí)記錄環(huán)境工況,當(dāng)溫濕度、氣壓或者顆粒物濃度超出設(shè)定閾值時(shí)自動(dòng)報(bào)警,幫助運(yùn)維人員快速識(shí)別凈化空調(diào)、新風(fēng)系統(tǒng)異常,提前規(guī)避潔凈度超標(biāo)風(fēng)險(xiǎn)。

數(shù)據(jù)管理是這款臺(tái)式塵埃粒子計(jì)數(shù)器的突出優(yōu)勢。設(shè)備內(nèi)置藍(lán)牙打印機(jī),現(xiàn)場完成采樣后可直接打印紙質(zhì)檢測報(bào)告,滿足潔凈車間驗(yàn)收、質(zhì)檢臺(tái)賬留存需求;USB接口支持批量導(dǎo)出歷史監(jiān)測數(shù)據(jù),方便后期歸檔分析;還支持上位機(jī)通過寄存器實(shí)時(shí)讀取六個(gè)通道數(shù)據(jù),遠(yuǎn)程控制傳感器啟停,能夠接入工廠自控系統(tǒng),搭建自動(dòng)化潔凈監(jiān)測網(wǎng)絡(luò)。

目前臺(tái)式塵埃粒子計(jì)數(shù)器已經(jīng)落地岳陽凱美特電子特氣潔凈室、湖南三安半導(dǎo)體生產(chǎn)車間兩大重點(diǎn)項(xiàng)目。岳陽凱美特電子特氣潔凈車間采用萬級(jí)、十萬級(jí)混合潔凈標(biāo)準(zhǔn),企業(yè)部署多臺(tái)RS-CALZ-N01,將核心提純區(qū)采樣間隔設(shè)置為15分鐘,單次采樣時(shí)長60秒,六通道全天不間斷監(jiān)測。實(shí)測數(shù)據(jù)顯示車間≥0.5μm顆粒物濃度穩(wěn)定控制在352000個(gè)/m3以內(nèi),≥5μm大顆粒粒子趨近于0,達(dá)到萬級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn);溫濕度氣壓監(jiān)測與報(bào)警功能多次捕捉新風(fēng)系統(tǒng)微小故障,及時(shí)處置,保障電子特氣產(chǎn)品合格率穩(wěn)定在100%。湖南三安半導(dǎo)體襯底、外延車間為千級(jí)潔凈環(huán)境,芯片制造對(duì)顆粒物極其敏感,運(yùn)維人員設(shè)置5分鐘高頻采樣。項(xiàng)目監(jiān)測數(shù)據(jù)表明車間核心區(qū)域≥0.5μm塵埃粒子穩(wěn)定低于35200個(gè)/m3,達(dá)到千級(jí)潔凈指標(biāo),依托設(shè)備數(shù)據(jù)溯源能力,車間芯片不良率下降,順利通過潔凈體系審核。

從精密原理到豐富功能,從現(xiàn)場檢測到遠(yuǎn)程組網(wǎng),RS-CALZ-N01型臺(tái)式塵埃粒子計(jì)數(shù)器憑借穩(wěn)定可靠的性能,支撐起制造業(yè)潔凈環(huán)境數(shù)字化管控,是潔凈實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體廠房、電子特氣車間重要的環(huán)境監(jiān)測設(shè)備。

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