純水的測量與監(jiān)控

半導體制造過程中需要使用大量的純水進行清洗晶圓、沖洗電子元件、蝕刻等操作，在純水處理過程中，常常需要精確地測量液體流量，如在反滲透(RO)過程中，需測量濃縮液的流速，以控制濃縮比及防止膜結(jié)垢，通過持續(xù)監(jiān)測水的流速，也可監(jiān)控RO設(shè)備的性能，及時發(fā)現(xiàn)可能的故障或異常；在去離子交換（DI）過程，會使用離子交換樹脂去除水中的離子，此時需要監(jiān)測流經(jīng)樹脂的水流速、反洗液體流經(jīng)樹脂的速度的流速，以確保確保樹脂得到充分的接觸時間，以有效去除離子。另外，在純水制程的化學添加階段也需精準控制藥劑用量，如測量消毒劑（氯、二氧化氯、臭氧等）用量，確保水中微生物的去除作業(yè)，或是pH 調(diào)節(jié)劑用量，以確保水質(zhì)穩(wěn)定性。由此可見，純水處理作業(yè)對于液體流速測量，以及測量工具的耐化學性，有相應嚴苛使用標準。

| 在去離子交換(DI)過程反滲透(RO)過程，監(jiān)測液體的流速可以確保純水品質(zhì)，監(jiān)控設(shè)備性能

實際案例：中國臺灣晶圓代工大廠

情況：該廠為專業(yè)之水處理系統(tǒng)規(guī)劃設(shè)計之工程公司，業(yè)務(wù)范圍包括超純水系統(tǒng)、廢水回收、廢水處理工程等，在純水處理的階段，因為純水不導電，無法使用常見的電磁式流量計，該公司欲選擇超聲波流量計，但是市面上常見的超聲波流量計安裝及設(shè)定步驟困難繁瑣，且需要定期補充超聲波膏，使用體驗不佳，并且在純水處理階段的作業(yè)中，該公司也需要選擇能夠精確測量液體的微小流量，并具備良好耐化學性的測量工具。

解決方案：LORRIC的超聲波流量計