Advanced Energy Industries, Inc.成立于1981年，總部位于美國(guó)科羅拉多州，是一家專注于精密電源轉(zhuǎn)換、測(cè)量和控制解決方案的全球化企業(yè)。該公司在等離子體電源輸送與控制領(lǐng)域擁有超過(guò)四十年的技術(shù)沉淀，其產(chǎn)品廣泛服務(wù)于半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽(yáng)能光伏和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等高科技制造行業(yè)。

優(yōu)勢(shì)

Cesar系列具備豐富的頻率與功率選擇，可覆蓋2 MHz、4 MHz、13.56 MHz、27.12 MHz及40.68 MHz等多種工業(yè)、科學(xué)和醫(yī)療頻段，功率等級(jí)從300 W至5 kW不等。Cesar 1330以13.56 MHz的標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)頻率運(yùn)行，適配絕大多數(shù)半導(dǎo)體和等離子體工藝設(shè)備。

產(chǎn)品采用先進(jìn)的開(kāi)關(guān)模式技術(shù)，搭載高效諧振開(kāi)關(guān)概念，可將功率調(diào)節(jié)至大范圍輸出阻抗，在高功率輸出的同時(shí)降低能量損耗。設(shè)備支持多種運(yùn)行模式，包含正向功率調(diào)節(jié)、負(fù)載調(diào)節(jié)等，可在不同工況下保持穩(wěn)定工作狀態(tài)。

設(shè)備搭載智能保護(hù)與故障管理功能，集成過(guò)壓保護(hù)、過(guò)流保護(hù)、短路保護(hù)和過(guò)熱關(guān)機(jī)保護(hù)等多重安全特性，可通過(guò)系統(tǒng)互鎖接口集成到更大的設(shè)備安全回路中，提升使用安全性。產(chǎn)品配備豐富的互聯(lián)選項(xiàng)與友好的人機(jī)交互界面，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與現(xiàn)場(chǎng)操作，大功率機(jī)型可選用水冷設(shè)計(jì)，保障連續(xù)運(yùn)行穩(wěn)定性。

參數(shù)

應(yīng)用領(lǐng)域

產(chǎn)品可應(yīng)用于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積、反應(yīng)性離子刻蝕、濺射、等離子體表面處理、CO?激光系統(tǒng)等工藝場(chǎng)景，適配半導(dǎo)體、電子制造等工業(yè)領(lǐng)域使用需求。