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如何改進干燥環(huán)境中的濕度實現(xiàn)理想測量

來源:江蘇辰銘科技有限公司   2026年04月29日 10:13  

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純氣體生產(chǎn)或半導體制造等某些要求嚴苛的工業(yè)流程,需要非常精確地測量微量水分含量。


通常認為,在實驗室環(huán)境中才能實現(xiàn)理想測量。但是,采樣時會引入某些不確定因素,如污染、平均值、管道等。在本文中,我們將展示與在線測量相比,實驗室環(huán)境中存在哪些會造成不確定性的采樣相關因素。


流程工業(yè)高純氣體案例


人們通常認為,實現(xiàn)高準確度的理想方法是購買具有高規(guī)格的測量儀表。對于濕度測量而言,這意味著要購買分析儀類型的儀表,因為這類儀表理論上準確度高。然而,相較于更堅固耐用的工業(yè)儀表,分析儀價格昂貴,且對環(huán)境的影響異常敏感,因此需要特定且穩(wěn)定的使用條件。 


通常,分析儀并不直接在流程中進行測量,而是要先行采集氣體樣本,將其導入分析儀,然后將樣本遺棄。在所有測量中,氣體樣本通常都存在以下問題: 


●樣本可能無法代表實際的工藝條件。

●樣本還可能受到采樣和分析中外部因素的影響。

●樣本可能會受到泄漏的影響,甚至成為泄漏的源頭。  


舉例來說,想象要稱量一些粉末。如果在采樣和稱量之間的過程中,粉末被雨水打濕,樣本將無法反映粉末的真實重量和成分。同樣,水氣也能輕易改變氣體樣本的濕度,即使使用先進的全新儀表,結(jié)果也會不準確。


實驗


為了展示該問題并研究其影響,我們構(gòu)建了一個測試裝置(如圖 1 所示)。該裝置的基本思路是保持恒定的濕度,然后通過在 20 °C 至 27 °C 范圍內(nèi)改變管道溫度來干擾濕度。理論上,這會導致吸附/解吸效應,從而影響排出加熱室的水氣總量。同樣,在從現(xiàn)場轉(zhuǎn)至測量實驗室的過程中,采樣管可能會暴露在室外天氣下,進而受到溫度變化的影響。在較小的范圍內(nèi),不同的室內(nèi)溫度也可能產(chǎn)生類似的影響。實驗過程中,氣壓保持在 1 bar(a) 至 2 bar(a) 范圍內(nèi),流速始終小于 1 l/min,與分析儀的流速一致。


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該裝置由一臺濕度發(fā)生器、兩臺維薩拉 DMT152 露點儀表、一個帶有 6.7 m 電拋光鋼管的加熱室和一臺 CRDS 分析儀組成。兩臺 DMT152 露點儀表分別放置在加熱室之前和之后(圖 1)。從第二臺 DMT152 到分析儀的管道盡可能短,以盡量降低 DMT152 和分析儀之間的環(huán)境影響。使用兩個溫度傳感器監(jiān)測加熱室的溫度。

 

結(jié)果

在不同的壓力、流速和濕度下進行了多次測量。每次實驗中都以相同的方式控制加熱室。(見圖 2)


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在圖 2 中,隨著溫度(黑色)的干擾增強,出口處的 DMT152 檢測到的噪聲濕度越來越多,而入口濕度在測量過程中保持恒定。測量結(jié)束后,溫度穩(wěn)定至實驗室溫度,兩臺 DMT152 儀表再次穩(wěn)定并指示相同的霜點溫度。該圖清晰展示了采樣管溫度的穩(wěn)定性對輸出濕度的影響,因而會影響濕度的測量結(jié)果。


圖 3 繪制了另一次測量的結(jié)果。該圖中,入口濕度不像圖 2 中那樣穩(wěn)定,但 DMT152 儀表和 CRDS 分析儀都呈現(xiàn)出類似的趨勢。然而,在圖 3 中,與 CRDS 分析儀或出口處的 DMT152 相比,入口濕度的噪聲要小得多。事實上,出口處的濕度變化過大,以至于 DMT152 和 CRDS 分析儀都無法正確指示入口濕度,并且二者的誤差實際都超出了其規(guī)格。然而,此處使用的儀表功能完好,并且性能符合其規(guī)格要求,問題出在采樣管上。溫度的變化會引起吸附/解吸現(xiàn)象,從而導致采樣管出口的濕度發(fā)生變化。


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該測量活動的結(jié)果表明:


●吸附/解吸引起的最大霜點溫度變化超過 4 °C。

●流量的影響:流量越大,噪聲越大。

●溫度變化越大,管內(nèi)的吸附/解吸效應越劇烈。

●濕度越低,相對影響越大。 

 

關鍵要點


在本文中,我們測試了環(huán)境對采樣的影響。如果測量環(huán)境或采樣不理想,可能會對測量結(jié)果產(chǎn)生重大影響。如圖 2 和圖 3 所示,由于其在線過程測量的結(jié)果更具代表性,位于入口處的 DMT152 價格更加實惠,且表現(xiàn)優(yōu)于價格更高的分析儀。因此,建議直接在想要關注的位置進行測量,并盡可能減少采樣管的使用。由于測量裝置和測量原理更加簡單,這種方法也具有更為顯著的成本效益。 


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