探針臺(tái)的操作方法探針臺(tái)用途：
手動(dòng)探針臺(tái)的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析，抽查測(cè)試等用途。
儀準(zhǔn)科技擅長(zhǎng)領(lǐng)域手動(dòng)探針臺(tái)Probe station，激光開(kāi)封機(jī)Laser decap，光發(fā)射顯微鏡EMMI，IV自動(dòng)曲線量測(cè)儀，紅外顯微鏡，半導(dǎo)體失效分析設(shè)備，集成電路測(cè)試：非破壞xing分析

探針臺(tái)的操作方法 探針臺(tái)的使用方式：
 1.將樣品載入真空卡盤(pán)，開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。
2.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。
4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。
5.待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，*則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。
6.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。

探針臺(tái)的操作方法

常見(jiàn)故障的排除
當(dāng)您使用本儀器時(shí)，可能會(huì)碰到一些問(wèn)題，下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。
癥狀 可能原因 解決方法
移動(dòng)樣品后畫(huà)面變模糊 顯微鏡不垂直 調(diào)垂直顯微鏡
樣品臺(tái)不水平 調(diào)水平樣品臺(tái)
樣品不平
顯微鏡視場(chǎng)亮度不足，邊緣切割或看不到像 轉(zhuǎn)換器不在定位位置上 把轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)到定位位置上
管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)不在定位位置上 把管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)到定位位置上
照明的亮度不足 調(diào)節(jié)光源亮度或者把孔徑光欄孔調(diào)大
沒(méi)有裝目鏡 裝上目鏡
沒(méi)有裝物鏡 裝上物鏡
顯微鏡像質(zhì)變差 目鏡臟物鏡臟管鏡臟 對(duì)目鏡，物鏡，管鏡臟的地方進(jìn)行清潔
孔徑光欄關(guān)的太大或者太小 調(diào)節(jié)孔徑光欄
沒(méi)有調(diào)好焦 調(diào)節(jié)調(diào)焦手輪
樣本上蓋有蓋玻片等介質(zhì) 移開(kāi)蓋玻片等介質(zhì)
圖像一邊清晰，一邊模糊 樣本傾斜放置 放平樣本，或者調(diào)節(jié)樣品臺(tái)水平
物鏡沒(méi)有旋緊 旋緊物鏡
眼睛容易疲勞 雙目頭的瞳距和操作者不匹配 調(diào)節(jié)雙目頭的瞳距
目鏡視度調(diào)節(jié)不正確 調(diào)節(jié)目鏡視度
照明亮度不合適 調(diào)節(jié)光源亮度或者孔徑光欄孔