在半導體芯片制造過程中，對生產環(huán)境的潔凈度要求非常高，必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路，控制凈化環(huán)境下的作業(yè)現(xiàn)場中超微小顆粒物數量，以保證產品質量和提升產品良率，特別是對于0.1μm粒子的檢測至關重要。

在半導體芯片生產過程中，粒子計數器主要應用于：

1. Fab廠的制造工藝檢測：在晶圓的光刻、涂膠顯影、刻蝕等多個工藝環(huán)節(jié)中，使用粒子計數器檢測環(huán)境中的塵埃粒子，確保工藝的精確性。

2. gao端封裝過程：在晶圓切割封裝過程中，粒子計數器同樣發(fā)揮著關鍵作用，保證封裝質量。

3. 半導體設備生產工藝的質量監(jiān)測：通過粒子計數器對設備工藝點進行監(jiān)控，確保生產過程的穩(wěn)定性和產品質量。

參考法規(guī)和標準：

粒子計數器嚴格遵守ISO 21501-4法規(guī)，并滿足ISO 14644-1（2015）潔凈室懸浮粒子測試方法的要求，適用于class 1至6級的潔凈室環(huán)境。

使用方法：

參照ISO14644-1（2015）法規(guī)的內容，針對不同潔凈度等級下監(jiān)測粒徑的上限要求，通過法規(guī)內容的計算方法測算采樣點數及每個點采樣時間，對儀器進行設定后，按照該方法進行逐個點位測試。

KANOMAX公司推出的超小型塵埃粒子計數器3950-00，同時監(jiān)測0.1μm和0.3μm的單位體積內的微小粒子個數，也可作為傳感器嵌入生產設備實時監(jiān)測作業(yè)現(xiàn)場的超微粒子，為凈化作業(yè)環(huán)境的潔凈度評定提供依據，為芯片制造保駕護航！

Kanomax塵埃粒子計數器3950-00，不僅將經典品質傳承，而且實現(xiàn)了嵌入組裝在半導體制造等裝置中。

既往產品尺寸難以嵌入半導體制造裝備中使用，本產品通過壓倒性的小型化，使傳感器嵌入設備中使用變?yōu)楹啽阋仔小?/span>

致輕、致小，采樣量2.83L/min，同時測試0.1μm、0.3μm微小粒子，4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏，可使用附帶軟件在PC上顯示測試數據。設有RS-485、Ethernet、USB通訊接口。

KANOMAX 0.1μm超小型粒子計數器3950在半導體芯片制造環(huán)境中的應用

沈陽加野科學儀器有限公司是加野麥克斯集團旗下的合資企業(yè)，全權負責加野麥克斯品牌產品在中國大陸市場的開拓和運營。
公司經營熱線式風速計、多點風速計、風量罩、風速變送器、溫濕度計、粉塵計、噪聲計、塵埃粒子計數器、室內潔凈測試系統(tǒng)、室內空氣品質測試儀等數十種環(huán)境測試儀器產品。公司產品應用遍及暖通、醫(yī)藥衛(wèi)生、電子、電力、石化、煙草等行業(yè)以及工礦企業(yè)、科研院所、高等院校等眾多領域。
加野麥克斯集團成立于1934 年，迄今有90余年歷史，Kanomax一直致力于流體測試、環(huán)境測試、微粒子測試及定制應用系統(tǒng)等產品的研發(fā)與創(chuàng)新，為用戶提供完備的測試解決方案和服務。
目前，KANOMAX集團在多個國家設有子公司，并為世界各地用戶提供有效的服務和技術支持。在中國沈陽設有獨資生產工廠及銷售公司，沈陽加野科學儀器有限公司負責Kanomax產品在中國大陸市場的開拓和運營。已在全國建立起*的營銷體系和售后服務網絡，為廣大用戶提供技術支持及服務。