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閱讀：34發(fā)布時(shí)間：2025-7-20
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空泵檢漏行業(yè)中的技術(shù)，由于檢漏簡單、操作方便、儀器設(shè)備靈活、精度高，且不受其他氣體的影響，在電加熱爐檢漏中得到了廣泛的應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜基本原理，以氦作為檢漏指示氣體制成的氣密性檢測儀。由離子源、分解器、回收器、冷陰極水解儀、真空萃取系統(tǒng)軟件和部分電氣設(shè)備組成的質(zhì)譜分析室。質(zhì)譜室中鎢絲發(fā)出的電子器件在室內(nèi)來回振蕩，與室內(nèi)氣體碰撞，氦氣通過泄漏孔進(jìn)入室內(nèi)，水解成正離子。這種氦正離子以加速靜電場效應(yīng)進(jìn)入電磁場，因?yàn)槁鍌惼澚π?yīng)引起位移，產(chǎn)生弧形軌跡，改變加速工作電壓，可以根據(jù)電磁場和到達(dá)接受極的接受狹縫測試不同質(zhì)量的正離子。注氦法和吸氦法是電加熱爐氦質(zhì)譜儀檢漏常用兩種方法。
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