X射線熒光光譜儀由激發(fā)源(X射線管)和檢測系統(tǒng)組成。X射線管產(chǎn)生入射X射線(初級X射線)并激發(fā)被測樣品。被激發(fā)樣品中的每個元素都會發(fā)出次級X射線，不同元素發(fā)出的次級X射線具有特定的能量特征或波長特征。探測系統(tǒng)測量這些發(fā)射的次級X射線的能量和數(shù)量。然后，儀器軟件將檢測系統(tǒng)采集的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類和含量。
主要用途：
X熒光光譜儀研究主要使用用途X熒光光譜儀能夠根據(jù)各元素的特征X射線的強度，也可以自己獲得各元素的含量信息。
近年來，X射線熒光光譜儀分光光度法已廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、有色金屬、建材、商品檢驗、環(huán)境保護、健康等領(lǐng)域，特別是在RoHS檢測領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
它可以分析大多數(shù)分析元素，包括固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍從Be到u，具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小等特點。
X射線熒光光譜儀優(yōu)勢:
1.分析速度快。測定時間與測定精度有關(guān)，但一般很短。
2.X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合生活狀態(tài)信息無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上都是沒有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密技術(shù)測定中卻可看到有波長發(fā)生變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線檢測范圍內(nèi)，這種效應(yīng)研究更為顯著。波長結(jié)構(gòu)變化可以用于化學(xué)位的測定。
3.無損分析。在測定過程中，沒有化學(xué)狀態(tài)的改變，也沒有樣品飛走。同一樣品可多次測定，重現(xiàn)性好。
4.x射線熒光分析是一種物理分析方法，所以在化學(xué)性質(zhì)上屬于同一族的元素也可以分析。
