微小氣體流量計主要是針對流量而產(chǎn)生的一款新式流量計，主要是測量一些非易燃易爆的干燥氣體，原理是利用流動氣體傳熱傳質(zhì)的依存關系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。該流量計同時實現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。當芯片處于工作狀態(tài)時，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的
溫度場分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。
西安云儀儀器儀表在流量計芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進行放大、調(diào)理并作線性化處理。
由于不同質(zhì)量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的擾動不同，因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。