帶你認識微壓力傳感器  

微壓力傳感器的工作原理:壓力傳感器的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標準信號。

在微傳感器中微壓力傳感器是其中一個主要的分支。傳感器的靈敏度和線性度是傳感器最重要的性能特征。特別是對于超微壓力傳感器而言。小量程的微壓力傳感器的靈敏度和線性度一直是阻礙微壓力傳感器發(fā)展的一大因素。

靈敏度和線性度是壓力傳感器最重要的兩個性能指標。為了制作出能夠滿足實際應(yīng)用需求的壓力傳感器,必需探索出一種壓力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。提供了一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應(yīng)力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法,從而實現(xiàn)了在滿量程范圍內(nèi)不同壓力值下對傳感器電壓輸出值的精確估計,在此基礎(chǔ)上對壓力傳感器的靈敏度和線性度進行了有效仿真。

微壓力傳感器是采用半導(dǎo)體材料和MEMS工藝制造的新型壓力傳感器。與傳統(tǒng)壓力傳感器比擬，微壓力傳感用具有精度高、敏捷度高、動態(tài)特性好、體積小、耐侵蝕、本錢低等長處。純單晶硅的材料疲憊小，采用這種材料制造的微壓力傳感器的長期不亂性好。同時，微壓力傳感器易于與微溫度傳感器集成，增加溫度補償精度，大幅進步傳感器的溫度特性和丈量精度。假如將2個微壓力傳感器集成，又可以實現(xiàn)靜壓補償，從而進步壓力傳感器的靜壓特性。由此可見，微壓力傳感器用具有很多傳統(tǒng)壓力傳感器不具備的長處，能夠很好地滿足石化行業(yè)對壓力傳感器的需求。
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