進(jìn)入九十年代,國際上MEMS技術(shù)有了長足的發(fā)展，硅片定向微機(jī)電加工精度和成品率不斷提高，加上離子注入技術(shù)的發(fā)展使擴(kuò)散硅壓力傳感器從技術(shù)上有了可靠保證，成本也有所下降。在許多應(yīng)用領(lǐng)域里，擴(kuò)散硅壓力傳感器還必須與充油蕊體配套,這又使它的售價大幅度上升。這些原因無疑在一定程度上促進(jìn)了國內(nèi)壓力傳感器市場的興盛。

　　近幾年，由昆山市人民政府和中科院，在昆山雙橋成立了國家火炬計劃昆山傳感器產(chǎn)業(yè)基地，使擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的微納米MEMS技術(shù)硅壓阻式傳感器和變送器形成了產(chǎn)業(yè)鏈。合肥智能化所在陶瓷壓力傳感器方面在研發(fā)和制造技術(shù)方面也有了可喜的發(fā)展。這些進(jìn)展都在一步步推進(jìn)著國內(nèi)市場的發(fā)展。

　　在國外，壓阻式陶瓷壓力傳感器以其高可靠性，抗腐蝕、優(yōu)良的線性精度和低成本開始逐漸替代擴(kuò)散硅壓力傳感器，這也將是必然的發(fā)展趨勢。國家馬頌德副部長在2005年底視察無錫時，對此作了充分肯定。

　　我國從事各種壓力變送器生產(chǎn)的廠家有1700多家，作為壓力變送器的核心部件-壓力傳感器實現(xiàn)國產(chǎn)化的時代巳經(jīng)到來!