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當(dāng)前位置：湘潭華豐儀器制造有限公司>>產(chǎn)品展示>>實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)儀器>>氣相沉積設(shè)備
氣相沉積設(shè)備主要由反應(yīng)室、供氣系統(tǒng)和加熱系統(tǒng)組成。反應(yīng)室是CVD中zui基本的部分，常采用石英管制成，其壁可分為熱態(tài)和冷態(tài)。
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