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北京美華儀科技有限公司


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技術(shù)文章

勻膠機(jī) 用于光刻工藝中的旋轉(zhuǎn)涂膠后的軟烘

閱讀:194發(fā)布時(shí)間:2017-12-5

勻膠機(jī)  型號(hào):MHY-26231
產(chǎn)品概述:
烤膠機(jī)  hot plate  又名烘膠臺(tái),烤膠機(jī),熱板,熱臺(tái)。MHY-26231烤膠機(jī),主要用于光刻工藝中的旋轉(zhuǎn)涂膠后的軟烘,曝光后烘烤,顯影后的堅(jiān)膜,磨片粘片熔蠟。
 
MHY-26231型烤膠機(jī),產(chǎn)品體積小,重量輕,升溫快,節(jié)能。
能滿足各種用戶的樣品處理實(shí)驗(yàn)。
與傳統(tǒng)的烘箱相比,利用烤膠機(jī)固化膜層的優(yōu)勢(shì)有:
(1)烘烤時(shí)間減少;
(2)重復(fù)性高;
(3)對(duì)薄膜的固化效果好。
 
MHY-26231烤膠機(jī)整個(gè)面板溫度均勻,對(duì)基片膜層固化效果非常好。由于固化是從下往上,所以不會(huì)產(chǎn)生皮膚效應(yīng)。這種“由里而外”的固化方式尤其適合較厚的膜層,因?yàn)榭拷哪訒?huì)首先固化好,然后是膜層靠外的部分。該款烤膠機(jī)由于升溫迅速,所以產(chǎn)量較高。烘烤時(shí)間用秒計(jì)算,而不是像傳統(tǒng)烘箱用分鐘或者小時(shí)計(jì)算。
 
主要特點(diǎn):
外形小巧,330mm*230mm*115mm
加熱盤尺寸 :Φ185mm
加熱板均一性好。
升溫快,能滿足室溫----200℃。
控制溫度。能控制小數(shù)點(diǎn)后的細(xì)微溫度差異,如 113.4 ℃   溫差 ±0.1℃
烘膠采用溫控儀PID調(diào)節(jié),具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點(diǎn), 并可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定工作.
高校學(xué)生操作簡(jiǎn)便,能獨(dú)立完成。
 
技術(shù)參數(shù):
輸出功率: 1500 W 
輸入電壓: 220V   50HZ
溫度控制強(qiáng): 能控制小數(shù)點(diǎn)后的細(xì)微溫度差異,如 115.5 ℃   溫差 ±0.1℃
溫度控制范圍:能滿足室溫----200℃。
外殼材質(zhì):不銹鋼。
防腐蝕性能:良好。
加熱區(qū)域尺寸:Φ185mm
 

 


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