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空氣過濾器標準和效率

時間:2007/12/17閱讀:2418
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空氣過濾器標準和效率

空氣過濾器標準和效率

隨著微電子工業(yè)的發(fā)展, 對過濾器要求越來越嚴, 德標準DIN24183提出
"zui容易穿透粒徑"(Most Penetrating Particle Size, 簡稱MPPS)法, 并采用zui容易穿
透粒徑來檢測空氣過濾器的效率. 其實不同的濾料和不同的濾速zui容易穿透粒徑是
不同的, 一般在0.11um-0.25um范圍內(nèi). 然后以此粒徑測試其效率或用于掃描實驗.
MPPS是目前zui嚴格的試驗標準,
體測試一般采用DOP方法.

DOP(鄰苯二甲二辛酯)法: 實驗塵源為0.3um單分散相DOP液滴, 測量粉塵儀器為光度
計, 以氣樣的濁度差別來判定過濾器對DOP顆粒的過濾效率. 目前逐步采用大流量激光
粒子計數(shù)器或凝結核計數(shù)器對過濾器整個出風面進行掃描檢驗.
 

中標準歐洲標準
EN779-1993
美DOP法
0.3um效率/%
ASHRA標準
計重法效率/%
ASHRAE標準
比色法效率/%
粗效過濾器G1 < 65 
粗效過濾器G2 65-80 
粗效過濾器G3 80-90 
中效過濾器G4 >=90 
中效過濾器F5  40-60
中效過濾器F620-25 60-80
中效過濾器F755-60 80-90
中效過濾器F865-70 90-95
中效過濾器F975-80 >=95
亞過濾器H10> 85  
亞過濾器H11> 98  
過濾器AH12> 99.9  
過濾器AH13> 99.97  
過濾器BH14> 99.997  
過濾器CU15> 99.9997  
過濾器DU16> 99.99997  
過濾器DU17> 99.999997  

-------------------------------------------------------------------------------
敏感元器件靜電壓標準

HBM模式(人體模式) ESD STM5.1-1998
級別靜電壓范圍
Class 0< 250V
Class 1A250-<500V
Class 1B500-<1,000V
Class 1C1,000-<2,000V
Class 22,000-<4,000V
Class 3A4000-<8,000V
Class 3B>=8,000V
MM模式(機器模式) ESD STM5.2-1999
級別靜電壓范圍
Class M1< 100V
Class M2100-<200V
Class M3200-<400V
Class M4>=400V
CDM模式( 放電模式) ESD STM5.3.1-1999

級別

靜電壓范圍
Class C1< 125V
Class C2125-<250V
Class C3250-<500V
Class C4500-<1,000V
Class C51,000-<1,500V
Class C61,500-<2,000V
Class C7>=2,000V

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