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四方儀器紅外氣體傳感器可檢測SiF4、WF6、NF3和CF4等多種氣體類型，具有響應時間快、靈敏度高、檢出限低、無耗材等優(yōu)點，支持模擬和數(shù)字信號通信及輸出，產(chǎn)品采用模塊化設計，便于集成，助您精準監(jiān)測。
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