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產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	是

產(chǎn)品名稱：原位氧分析儀

產(chǎn)品型號：Gasboard-3053

產(chǎn)品概述

原位氧分析儀Gasboard-3053搭載高穩(wěn)定性的氧化鋯核心傳感器，覆蓋25%富氧至1ppm微量氧的全范圍測量。具有測量精度高、響應時間快、穩(wěn)定性好等特點，可應用于半導體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領域，為關鍵的過程控制應用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設計，體積小巧，便于在復雜?況下安裝，同時配備直觀豐富的用戶界面，提供人機交互體驗。

產(chǎn)品特性

測量精度?，ppm級別測量

響應速度快，秒級出數(shù)

即插即??體化設計

內(nèi)置采樣泵與過濾系統(tǒng)，安裝維護便捷

本地化端到端服務保障

應用領域

半導體、LED等?產(chǎn)過程中氧濃度控制、惰性保護?體?產(chǎn)及焊接?藝中氧濃度監(jiān)測、空?分離加??藝中氧濃度測定、真空?套箱系統(tǒng)中氧含量的監(jiān)控

技術參數(shù)

微量-常量氧分析儀
功能性能需求	檢測氣體	O₂
	量程范圍	0~10~100~1000ppm，0~25%，自動切換
	檢出限	0.5ppm
	分辨率	0.1ppm
	準確度/示值誤差/精度（ppm=氧分壓/當前?作總壓）	≤±2%F.S. 或 ±0.5ppm 以較大值為準
	響應時間	T₉₀≤10s
	預熱時間	≤20min
	零點漂移	±0.5%F.S.
	量程漂移	±0.5%F.S.
	重復性	±0.5%F.S.
電氣結構	通訊協(xié)議	RS-232，RS-485
	氣路接口	進氣/出氣 1/4''VCR-F
	結構形式	一體式
	結構尺寸（LWD）	210134300mm

四方光電（武漢）儀器有限公司為四方光電股份有限公司的全資子公司，簡稱：四方儀器，前身為成立于2010年的湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司，是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術企業(yè)，服務于工業(yè)過程監(jiān)測、環(huán)境監(jiān)測、汽車/發(fā)動機排放檢測、科學研究氣體分析等領域。