當(dāng)前位置:四方光電(武漢)儀器有限公司>>半導(dǎo)體行業(yè)氣體分析儀>> Gasboard-3053在線氧分析儀
產(chǎn)品名稱:在線氧分析儀
產(chǎn)品型號:Gasboard-3053
產(chǎn)品概述
在線氧分析儀Gasboard-3053搭載高穩(wěn)定性的氧化鋯核心傳感器,覆蓋25%富氧至1ppm微量氧的全范圍測量。具有測量精度高、響應(yīng)時(shí)間快、穩(wěn)定性好等特點(diǎn),可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領(lǐng)域,為關(guān)鍵的過程控制應(yīng)用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設(shè)計(jì),體積小巧,便于在復(fù)雜?況下安裝,同時(shí)配備直觀豐富的用戶界面,提供人機(jī)交互體驗(yàn)。
產(chǎn)品特性
測量精度?,ppm級別測量
響應(yīng)速度快,秒級出數(shù)
即插即??體化設(shè)計(jì)
內(nèi)置采樣泵與過濾系統(tǒng),安裝維護(hù)便捷
本地化端到端服務(wù)保障
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體、LED等?產(chǎn)過程中氧濃度控制、惰性保護(hù)?體?產(chǎn)及焊接?藝中氧濃度監(jiān)測、空?分離加??藝中氧濃度測定、真空?套箱系統(tǒng)中氧含量的監(jiān)控
技術(shù)參數(shù)
| 微量-常量氧分析儀 | ||
| 功能性能需求 | 檢測氣體 | O2 |
| 量程范圍 | 0~10~100~1000ppm,0~25%,自動切換 | |
| 檢出限 | 0.5ppm | |
| 分辨率 | 0.1ppm | |
| 準(zhǔn)確度/示值誤差/精度 (ppm=氧分壓/當(dāng)前?作總壓) | ≤±2%F.S. 或 ±0.5ppm 以較大值為準(zhǔn) | |
| 響應(yīng)時(shí)間 | T90≤10s | |
| 預(yù)熱時(shí)間 | ≤20min | |
| 零點(diǎn)漂移 | ±0.5%F.S. | |
| 量程漂移 | ±0.5%F.S. | |
| 重復(fù)性 | ±0.5%F.S. | |
| 電氣結(jié)構(gòu) | 通訊協(xié)議 | RS-232,RS-485 |
| 氣路接口 | 進(jìn)氣/出氣 1/4''VCR-F | |
| 結(jié)構(gòu)形式 | 一體式 | |
| 結(jié)構(gòu)尺寸(L*W*D) | 210*134*300mm | |
四方光電(武漢)儀器有限公司為四方光電股份有限公司的全資子公司,簡稱:四方儀器,前身為成立于2010年的湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司,是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術(shù)企業(yè),服務(wù)于工業(yè)過程監(jiān)測、環(huán)境監(jiān)測、汽車/發(fā)動機(jī)排放檢測、科學(xué)研究氣體分析等領(lǐng)域。



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