一、真空泵的性能參數(shù)
     1、真空泵的極限壓強(qiáng)
     泵的極限壓強(qiáng)單位是Pa，是指泵在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的zui低壓強(qiáng)。
    2、真空泵的抽氣速率
     泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩，并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩流過(guò)的氣體流量與在試驗(yàn)罩位置測(cè)得的平衡壓強(qiáng)之比。簡(jiǎn)稱泵的抽速。
     3、真空泵的抽氣量
     真空泵的抽氣量單位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵入口的氣體流量。
     4、真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng)
     真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng)單位為Pa，它是指泵無(wú)損壞起動(dòng)并有抽氣作用時(shí)的壓強(qiáng)。
     5、泵的前級(jí)壓強(qiáng)
     真空泵的前級(jí)壓強(qiáng)單位是Pa，它是指排氣壓強(qiáng)低于一個(gè)大氣壓的真空泵的出口壓強(qiáng)。
     6、真空泵的zui大前級(jí)壓強(qiáng)
     真空泵口zui大前級(jí)壓強(qiáng)單位是Pa，它是指超過(guò)了能使泵損壞的前級(jí)壓強(qiáng)。
     7、真空泵的zui大工作壓強(qiáng)
     真空泵的zui大工作壓強(qiáng)單位是Pa，它是指對(duì)應(yīng)zui大抽氣量的入口壓強(qiáng)。在此壓強(qiáng)下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
     8、壓縮比
     壓縮比是指泵對(duì)給定氣體的出口壓強(qiáng)與入口壓強(qiáng)之比。
     9、何氏系數(shù)
     泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽速與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
     10、抽速系數(shù)
     泵的實(shí)際抽速與泵入口處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
     11、返流率
     泵的返流率單位是g/cm2.s。它是指泵按規(guī)定條件工作時(shí)，通過(guò)泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流率。
     12、水蒸氣允許量
     水蒸氣的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。
     13、zui大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)
     zui大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)單位是Pa 。它是指在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)所能抽除的水蒸氣的zui高入口壓強(qiáng)。 
     二、真空泵的使用范圍
     由于各種真空泵所具有的工作壓強(qiáng)范圍及起動(dòng)壓強(qiáng)均有所不同，因此在選用真空泵時(shí)必須滿足這些要求。