ST-102A型探針測試臺 /中測臺/點測機
（英文叫Prober station,中文又稱中測臺,點測機。)、與測試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測試及功能調(diào)試，適用于科研、新品試制及小批量生產(chǎn)的中間測試。
技 術(shù) 指 標(biāo) ：
標(biāo)準(zhǔn)配置：主工作臺、顯微鏡、承片臺、三維微調(diào)架2個、探針臂2支、探針2支。
可選配件：三維微調(diào)架、探針臂、探針、真空泵。
可按用戶的實際需求進行訂做。
工作臺面 | 370mm*245mm |
載物臺直徑 | 4" |
放大倍數(shù) | 50倍、100倍，固定倍數(shù)； |
監(jiān)視方式 | 顯微鏡 |
光學(xué)參數(shù) | 手輪調(diào)焦范圍：60mm；升降調(diào)焦范圍：200mm； |
精密旋轉(zhuǎn)臺 | 粗調(diào)范圍：360°；微調(diào)范圍：±10°；zui小刻劃：1°；
銅盤直徑：Φ85mm；絕緣盤直徑：Φ102mm |
三維探針座 | 探針座X、Y、Z方向調(diào)節(jié)范圍：±3.25mm，分辨率±2μ；
三維探針座在工作臺面可任意位置固定，由磁性開關(guān)控制；
zui多可布三維探針座6個；
探針臂伸出長度：60mm；
探針長度：40mm； |
探針 | 探針材質(zhì)硬質(zhì)合金，針尖曲率半徑2μm； |
標(biāo)準(zhǔn)配置：主工作臺、顯微鏡、承片臺、三維微調(diào)架2個、探針臂2支、探針2支。
可選配件：三維微調(diào)架、探針臂、探針、真空泵。
可按用戶的實際需求進行訂做。
