美國(guó)Brooks質(zhì)量流量控制器 Brooks 5850E質(zhì)量流量控制器
布魯克斯®5850e質(zhì)量流量控制器準(zhǔn)確地測(cè)量和控制氣體流量。該系統(tǒng)是可移動(dòng)的流量傳感器產(chǎn)生的電輸出信號(hào)的非線性的流量用于指示，記錄，和/或控制的目的。它不需要連續(xù)監(jiān)測(cè)氣體壓力提供一個(gè)穩(wěn)定的氣體調(diào)整flow.流。
美國(guó)Brooks質(zhì)量流量控制器 Brooks 5850E質(zhì)量流量控制器DESIGN FEATURES設(shè)計(jì)特點(diǎn)：
• Easy maintenance
•易于維護(hù)
• Fast flow response to command changes
•快速流指令變化的響應(yīng)
• Negligible flow overshoot/undershoot
•忽略不計(jì)流量過(guò)沖/下沖
• Removable sensor
•移動(dòng)傳感器
• Insensitive to mounting attitude
•不敏感的安裝姿態(tài)
• Wide flow range (up to 30 slpm N2)
•流量范圍寬（可達(dá)30 SLPM N2）
• End accessible zero and span potentiometers
•端接近零點(diǎn)和量程電位器
• Jumper selectable soft start
•跳線可選的軟啟動(dòng)
• Electrically activated valve override
•電動(dòng)閥重寫(xiě)
• Jumper selectable external valve control
•跳線可選的外部控制閥
• Low command flow cutoff
•低命令流截止
• Normally closed valve (normally open valve optional)
•常閉閥（常開(kāi)閥可選）
• Mechanically and electrically compatible with other
•機(jī)械和其他電兼容mass flow controllers質(zhì)量流量控制器
• Corrosion resistant valve
•耐腐蝕閥門(mén)
美國(guó)Brooks質(zhì)量流量控制器 Brooks 5850E質(zhì)量流量控制器操作原理：
布魯克斯的質(zhì)量流量控制器的工作原理熱力學(xué)。精密電源指示熱的傳感器管承載的中點(diǎn)的流量恒定百分比。在同一管的熱輸入等距的上游和下游正電阻溫度測(cè)量元件。沒(méi)有流量，熱量達(dá)到每個(gè)溫度元件是平等的。隨著流量的增加，流量流 T1 and把熱量從上游元件，T1和越來(lái)越多的向下游網(wǎng)元，T2. 。增加的溫度差異發(fā)展這兩個(gè)元素之間的這種差異對(duì)氣體流動(dòng)或量的比例流量。橋式電路對(duì)溫度差放大器提供輸出到.控制電路以及0~5伏直流電輸出信號(hào)。控制電路比較指令設(shè)定對(duì)流量信號(hào)和位置精度螺線管2%控制閥。當(dāng)命令信號(hào)低于2%全量表，控制閥的定位是充分封閉的?？刂崎y可以保持全開(kāi)或由閥覆蓋電路激活關(guān)閉。
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