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閱讀：238發(fā)布時間：2025-12-27
半導體工業(yè)在給人們帶來財富的同時，也伴隨著對人類生存環(huán)境的危害。近年來，半導體工業(yè)的環(huán)境問題受到國際社會的極大關(guān)注。在半導體制造工序中會使用多種特殊氣體如PH3、SiH4等等，同時隨之而來的是大量廢氣的產(chǎn)生。這些半導體制造工序中工藝廢氣如果未經(jīng)廢氣處理設(shè)備（Local Scrubber）有效地減低廢氣排放量及排放濃度，將會給周邊環(huán)境帶來嚴重的污染，并有可能危及人們的生命安全。
其中，在半導體制造工序中PH3參與擴散和離子注入工藝，是一種無色的有毒氣體，極易燃，具有腐蝕性和強還原性，遇熱的明火有燃燒爆炸的危險。暴露在空氣中能自燃。人體如果吸入PH3，會影響人體的細胞代謝，發(fā)生內(nèi)窒息，損害神經(jīng)系統(tǒng)等。
PH3廢氣可通過吸附式廢氣處理設(shè)備（Local Scrubber）進行處理，制程生產(chǎn)的廢氣在風機壓力下由入氣口管道進入主吸附桶，廢氣中需要處理的有毒氣體組分在主吸附桶中被吸附劑吸附處理，吸附后的廢氣經(jīng)變色球檢驗合格后從出氣口排出，再送至central scrubber 做水洗中和處理后，最后排入大氣，確保廢氣處理的安全性處理過程中沒有危害。
綜上，PH3是一種有毒的高危險性氣體，參與制程工藝中的擴散和離子注入，需經(jīng)廢氣處理設(shè)備處理方可排放，避免對環(huán)境和周邊人員的身體健康造成危害。
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