當(dāng)今微電子薄膜，光學(xué)薄膜，抗氧化薄膜，巨磁電阻薄膜，高溫超導(dǎo)薄膜等在工業(yè)生產(chǎn)和人類生活中的不斷應(yīng)用，在工業(yè)生產(chǎn)的薄膜，其厚度是一個(gè)非常重要的參數(shù)，直接關(guān)系到該薄膜材料能否正常工作。如大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)工藝中的各種薄膜，由于電路集成程度的不斷提高，薄膜厚度的任何微小變化，對(duì)集成電路的性能都會(huì)產(chǎn)生直接的影響。除此之外，薄膜材料的力學(xué)性能，透光性能，磁性能，熱導(dǎo)率，表面結(jié)構(gòu)等都與厚度有著密切的聯(lián)系。那如何檢測(cè)薄膜的厚度呢，本篇文章山東普創(chuàng)工業(yè)科技有限公司問(wèn)您提供方案。

試樣制備：

在距樣品縱向端部大約1 m處,沿橫向整個(gè)寬度截取試樣,試樣寬100 mm。除為提交或包裝而折疊樣品,試樣應(yīng)無(wú)折皺,也不應(yīng)有其他缺陷。

選擇儀器：

               PTT-03A薄膜測(cè)厚儀

測(cè)試步驟：

1.試樣在(23士2)C條件下狀態(tài)調(diào)節(jié)至少1 h,對(duì)濕敏薄膜﹐狀態(tài)調(diào)節(jié)時(shí)間和環(huán)境應(yīng)按被測(cè)材料的規(guī)范,或按供需雙方協(xié)商確定。

2.試樣和測(cè)量?jī)x的各測(cè)量面(2.1)無(wú)油污、灰塵等污染。

3. 測(cè)量前檢查測(cè)量?jī)x零點(diǎn),在每組試樣測(cè)量后應(yīng)重新檢查其零點(diǎn)。

4.測(cè)量時(shí)應(yīng)平緩放下測(cè)頭,避免試樣變形。

按等分試樣長(zhǎng)度的方法以確定測(cè)量厚度的位置點(diǎn),方法如下:

a)試樣長(zhǎng)度≤300 mm ,測(cè)10點(diǎn)﹔

b)試樣長(zhǎng)度在300 mm 至 1 500 mm之間,測(cè)20點(diǎn);

c)試樣長(zhǎng)度≥1 500 mm,至少測(cè)30點(diǎn)。

對(duì)未裁邊的樣品,應(yīng)在距邊50 mm開始測(cè)量。