臭氧發(fā)生器氧化脫硝工藝流程：

臭氧通過不銹鋼管道被輸送到煙道分配擴(kuò)散系統(tǒng)，通過均勻分布的分配器被注入到含有氮氧化物的原煙氣反應(yīng)系統(tǒng)中。反應(yīng)系統(tǒng)提供臭氧的均勻分布，并且足夠混合，使之急速反應(yīng)。因臭氧與NOx的反應(yīng)速度極快，在反應(yīng)器的設(shè)計(jì)時(shí)不需考慮很長的停留時(shí)間，使臭氧與氮氧化物充分反應(yīng)，將不溶性的NO氧化成為NO2。

臭氧的在均勻分配器中均勻分布，與煙氣中的氮氧化物充分接觸碰撞進(jìn)行反應(yīng)是整個(gè)脫硝系統(tǒng)的核心和關(guān)鍵。一般需要進(jìn)行反應(yīng)器的流場模擬(CFD)和化學(xué)反應(yīng)模擬(CKM)，根據(jù)模擬的情況結(jié)合以往的工程經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，以確保脫硝的效率。

臭氧氧化反應(yīng)過程十分激烈, 同時(shí)在脫硫塔位置亦會(huì)被噴淋漿液重復(fù)性洗滌吸收, 即便是當(dāng)下臭氧沒有和NO充分反應(yīng),
不過在隨后的工藝環(huán)節(jié)中還是能夠順利地分解出氧氣, 因此zui終向大氣排放出的臭氧可以忽略不計(jì)。